江苏芯梦半导体设备有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏芯梦半导体设备有限公司申请的专利一种晶圆顶升机构及晶圆处理装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223150223U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422377566.8,技术领域涉及:B66F11/00;该实用新型一种晶圆顶升机构及晶圆处理装置是由请求不公布姓名设计研发完成,并于2024-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆顶升机构及晶圆处理装置在说明书摘要公布了:本实用新型披露了一种晶圆顶升机构及晶圆处理装置,顶升机构包括导槽座;安装块;顶升件;第一定向辊轮,其可绕第一转动轴转动地设于所述安装块上;第二定向辊轮,其可绕第二转动轴转动地设于所述安装块上;其中,所述第一转动轴的轴心线垂直于第一平面,所述第二转动轴的轴心线垂直于第二平面并平行于所述第一平面,所述第一平面与所述第二平面互相垂直且共同垂直于第三平面,所述导槽座具有设置在所述导向槽内的第一槽壁和第二槽壁,所述第一定向辊轮和所述第一槽壁滚动接触,所述第二定向辊轮和所述第二槽壁滚动接触,以允许所述安装块沿所述导向槽上下滑动。本实用新型的晶圆顶升机构在移动的过程中阻力较小,不容易卡死。
本实用新型一种晶圆顶升机构及晶圆处理装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆顶升机构,其特征在于,所述顶升机构包括: 导槽座,其具有上下延伸的导向槽; 安装块,其可沿所述导向槽滑动地设于所述导槽座中; 顶升件,其用于将晶圆顶升,所述顶升件设于所述安装块上; 第一定向辊轮,其可绕第一转动轴转动地设于所述安装块上; 第二定向辊轮,其可绕第二转动轴转动地设于所述安装块上; 其中,所述第一转动轴的轴心线垂直于第一平面,所述第二转动轴的轴心线垂直于第二平面并平行于所述第一平面,所述第一平面与所述第二平面互相垂直且共同垂直于第三平面,所述导槽座具有设置在所述导向槽内的第一槽壁和第二槽壁,所述第一定向辊轮和所述第一槽壁滚动接触,所述第二定向辊轮和所述第二槽壁滚动接触,以允许所述安装块沿所述导向槽上下滑动。
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