成都中科卓尔智能科技集团有限公司万敏获国家专利权
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龙图腾网获悉成都中科卓尔智能科技集团有限公司申请的专利一种射频电极耦合结构、腔室电极及镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223150644U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422403975.0，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种射频电极耦合结构、腔室电极及镀膜设备是由万敏;邢邦丽;李越设计研发完成，并于2024-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种射频电极耦合结构、腔室电极及镀膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种射频电极耦合结构、腔室电极及镀膜设备，包括外部电流组件、弹性连接件、腔室和腔门，所述腔室与腔门进行活动连接，腔室设置外部连接组件，腔门设置弹性连接件，外部连接组件的设置位置适配弹性连接件，腔门与腔室之间的开合用于控制弹性连接件与外部电流组件的通断。本实用新型通过腔门在腔室上进行开合的过程，使得安装分别腔门和腔室的弹性连接件与外部电流组件进行断开和连接，射频电极耦合的连接和断开的过程更加的简单，不直接接触通电的电极组件，降低了安全风险。
本实用新型一种射频电极耦合结构、腔室电极及镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种射频电极耦合结构，其特征在于：包括外部电流组件（1）、弹性连接件（2）、腔室（4）和腔门（5），所述腔室（4）与腔门（5）进行活动连接，腔室（4）设置外部连接组件（1），腔门（5）设置弹性连接件（2），外部连接组件（1）的设置位置适配弹性连接件（2），腔门（5）与腔室（4）之间的开合用于控制弹性连接件（2）与外部电流组件（1）的通断。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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