吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司张嘉诚获国家专利权
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龙图腾网获悉吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司申请的专利一种挡水板、清洗装置及化学机械抛光设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223146869U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422415768.7，技术领域涉及：B24B37/34；该实用新型一种挡水板、清洗装置及化学机械抛光设备是由张嘉诚;李文超;吴俊逸设计研发完成，并于2024-10-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种挡水板、清洗装置及化学机械抛光设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种挡水板、清洗装置及化学机械抛光设备。该挡水板沿一圆弧轨迹纵长延伸，以在挡水板的内侧形成一用于容纳晶圆的容纳空间，在挡水板的宽度方向上挡水板的半径逐渐增大或减小；挡水板的内侧表面形成有多个导流槽，每一导流槽均由挡水板的一端延伸至挡水板的另一端。如此，由于挡水板相对自身轴向呈倾斜状态，使得溅射到挡水板内侧表面上清洗液能够横向流动至导流槽内，再由于挡水板呈圆弧状，使得导流槽内的清洗液能够沿导流槽向挡水板的两端流动，从而避免了携带污渍的清洗液堆积在挡水板的内侧表面而滴落至晶圆上，进而避免了对晶圆的二次污染。
本实用新型一种挡水板、清洗装置及化学机械抛光设备在权利要求书中公布了：1.一种挡水板，其特征在于，所述挡水板10沿一圆弧轨迹纵长延伸，以在所述挡水板10的内侧形成一用于容纳晶圆的容纳空间11；在所述挡水板10的宽度方向b上，所述挡水板10的半径逐渐增大或减小； 所述挡水板10的内侧表面形成有多个导流槽12，每一所述导流槽12均由所述挡水板10的一端延伸至所述挡水板10的另一端。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司，其通讯地址为：214194 江苏省无锡市锡山区锡北镇泾祥路1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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