东莞市德镁塑胶电子有限公司李海兰获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞市德镁塑胶电子有限公司申请的专利一种适用于大尺寸硅片的湿花篮结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223156000U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422433487.4,技术领域涉及:H01L21/673;该实用新型一种适用于大尺寸硅片的湿花篮结构是由李海兰设计研发完成,并于2024-10-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种适用于大尺寸硅片的湿花篮结构在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种适用于大尺寸硅片的湿花篮结构,涉及硅片加工技术领域,包括顶板、第一螺纹杆、后卡齿以及侧卡齿,所述顶板下方设置有底板,所述顶板与底板之间设置有第一支撑杆和第二支撑杆,所述第一支撑杆表面设置有侧卡齿,所述第二支撑杆一侧设置有后卡齿,所述第一支撑杆和第二支撑杆均设置有两个,通过转动两个第一调节螺栓,从而使第一调节螺栓能带动第一螺纹杆进行转动,第一螺纹杆进行转动的同时能够通过外壁的螺纹同步带动两个第一支撑杆进行移动,进而使两个第一支撑杆之间的间距能够进行调节变大,从而使该花篮能够对宽度较大的硅片进行固定,有利于使该滑杆能够对宽度较大的硅片进行放置。
本实用新型一种适用于大尺寸硅片的湿花篮结构在权利要求书中公布了:1.一种适用于大尺寸硅片的湿花篮结构,其特征在于:包括顶板1、第一螺纹杆6、后卡齿8以及侧卡齿12,所述顶板1下方设置有底板2,所述顶板1与底板2之间设置有第一支撑杆3和第二支撑杆4,所述第一支撑杆3表面设置有侧卡齿12,所述第二支撑杆4一侧设置有后卡齿8,所述第一支撑杆3和第二支撑杆4均设置有两个,所述第一支撑杆3顶部一端与底部一端内部设置有第一螺纹杆6,所述第一螺纹杆6位于第一滑槽5内部,所述第一滑槽5分别开设于顶板1和底板2表面,所述第一螺纹杆6两端焊接有第一调节螺栓7,所述第一调节螺栓7外壁与第一滑槽5两端转动连接。
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