成都高真科技有限公司金成昱获国家专利权
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龙图腾网获悉成都高真科技有限公司申请的专利晶圆载台装置及光刻机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223155376U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422436855.0，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型晶圆载台装置及光刻机是由金成昱;申相旭设计研发完成，并于2024-10-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆载台装置及光刻机在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体技术领域，具体涉及一种晶圆载台装置及光刻机。本实用新型中的晶圆载台装置包括载台本体和真空泵，载台本体具有用于放置待加工晶圆的晶圆槽，晶圆槽的侧壁具有真空管路，真空管路和真空泵连通，真空泵用于吸附晶圆薄膜剥落形成的薄膜颗粒。通过使用本技术方案中的晶圆载台装置，待加工晶圆表面的薄膜颗粒被真空泵抽走，从而防止薄膜颗粒堆积在待加工晶圆的边缘斜面上，进而有效避免边缘斜面因薄膜剥落而产生颗粒、气泡或水痕等缺陷。
本实用新型晶圆载台装置及光刻机在权利要求书中公布了：1.一种晶圆载台装置，其特征在于，所述晶圆载台装置包括载台本体200和真空泵，所述载台本体200具有用于放置待加工晶圆100的晶圆槽210，所述晶圆槽210的侧壁具有真空管路220，所述真空管路220和所述真空泵连通，所述真空泵用于吸附晶圆薄膜剥落形成的薄膜颗粒。
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