常州艾恩希纳米镀膜科技有限公司冯磊获国家专利权
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龙图腾网获悉常州艾恩希纳米镀膜科技有限公司申请的专利一种具有尾气过滤结构的CVD反应炉获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223150642U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422456317.8，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型一种具有尾气过滤结构的CVD反应炉是由冯磊设计研发完成，并于2024-10-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有尾气过滤结构的CVD反应炉在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种具有尾气过滤结构的CVD反应炉，包括炉体，所述炉体的前端安装操控开关，所述炉体的侧端安装进料管，炉体的顶部设置有尾气过滤机构，尾气过滤机构能够对CVD反应炉尾气过滤，涉及CVD设备技术领域：通过对CVD反应炉上设置尾气过滤机构，先由第一滤盒和第二滤盒对尾气中的金属颗粒进行过滤去除，避免损坏真空泵，再由滤箱对CVD反应炉尾气过滤处理，最后由回流管把尾气回流至CVD反应炉内，通过点火器点火燃烧，使尾气中可燃气体再重复利用，降低资源浪费。
本实用新型一种具有尾气过滤结构的CVD反应炉在权利要求书中公布了：1.一种具有尾气过滤结构的CVD反应炉，包括炉体1，所述炉体1的前端安装操控开关11，所述炉体1的侧端安装进料管12，其特征在于： 炉体1的顶部设置有尾气过滤机构2，尾气过滤机构2能够对CVD反应炉尾气过滤； 尾气过滤机构2包括第一真空泵21、第一导管22和第一滤盒23，所述第一真空泵21安装在炉体1的顶部，所述第一滤盒23安装在炉体1的侧端，所述第一真空泵21和第一滤盒23之间安装第一导管22。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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