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龙图腾网获悉青岛思锐智能科技股份有限公司申请的专利一种晶圆旋转工件盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223150639U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422463038.4，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型一种晶圆旋转工件盘是由刘志伟;刘连瑞;闫俊存设计研发完成，并于2024-10-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆旋转工件盘在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆旋转工件盘，涉及半导体加工设备技术领域，包括工件底盘和晶圆基座，工件底盘的上端面开设有多个凹槽，每个凹槽的侧壁上均开设有进气孔和排气孔；工件底盘的底部设置有总进气口，工件底盘内部还开设有气道；晶圆基座活动放置在凹槽内，凹槽内侧壁上还形成有台阶部，晶圆基座的边缘形成有上凸缘和下凸缘，晶圆基座在上凸缘和下凸缘之间形成有环形凹槽；晶圆基座放置在凹槽内时，上凸缘的底部与台阶部相接触，外部气体依次经由总进气口、气道以及进气孔进入到环形凹槽内并通过所述排气孔排出，进而推动晶圆基座转动。本实用新型提供的晶圆旋转工件盘可同时承载多个晶圆，可实现晶圆的自转和公转，从而提高镀膜工艺均匀性。

本实用新型一种晶圆旋转工件盘在权利要求书中公布了：1.一种晶圆旋转工件盘，其特征在于，包括： 可旋转的工件底盘4，所述工件底盘4的上端面周向间隔开设有多个凹槽41，每个所述凹槽41的侧壁上均开设有进气孔44和排气孔46；所述工件底盘4的底部设置有总进气口47，所述工件底盘4内部还开设有用于连通所述总进气口47与对应凹槽41的进气孔44的气道43； 晶圆基座1，其活动放置在所述凹槽41内，所述凹槽41内侧壁上还形成有周向延伸的台阶部48，所述晶圆基座1的边缘形成有周向延伸的上凸缘15和下凸缘16，晶圆基座1在上凸缘15和下凸缘16之间形成有周向延伸的环形凹槽17；所述晶圆基座1放置在所述凹槽41内时，所述上凸缘15的底部与所述台阶部48相接触，且所述进气孔44和排气孔46位于所述上凸缘15和下凸缘16之间，外部气体依次经由总进气口47、气道43以及进气孔44进入到所述环形凹槽17内并通过所述排气孔46排出，进而推动所述晶圆基座1转动。

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