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南通元兴智能科技有限公司裴悠松获国家专利权

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龙图腾网获悉南通元兴智能科技有限公司申请的专利一种半导体晶圆硅片分片装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119057957B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411416872.6,技术领域涉及:B28D5/04;该发明授权一种半导体晶圆硅片分片装置是由裴悠松;许华平设计研发完成,并于2024-10-11向国家知识产权局提交的专利申请。

一种半导体晶圆硅片分片装置在说明书摘要公布了:本发明提供一种半导体晶圆硅片分片装置,涉及晶圆硅片技术领域,包括支撑架,所述支撑架上设有便于对硅棒进行分片的切割机构,所述支撑架上设有便于对切割机构进行调节的调节机构,所述支撑架上设有便于对切割后硅片进行收集的收集机构,所述切割机构包括第一传动辊、固定圆板、金刚切割线和气缸,所述调节机构包括底板、转轴和调节板,所述收集机构包括放置板。本发明通过设置了可调节的固定圆板和线槽相配合,可在切割前,根据切割的需求,对每个金刚切割线之间的间距进行调节,由于硅棒切割通常在大批量生产中使用,可调节间距的金刚切割线可以适应不同直径和长度的硅棒,可以根据硅棒的直径和切割需求来灵活调整金刚切割线之间的间距。

本发明授权一种半导体晶圆硅片分片装置在权利要求书中公布了:1.一种半导体晶圆硅片分片装置,包括支撑架1,其特征在于:所述支撑架1上设有便于对硅棒进行分片的切割机构,所述支撑架1上设有便于对切割机构进行调节的调节机构,所述支撑架1上设有便于对切割后硅片进行收集的收集机构; 其中,所述切割机构包括第一传动辊4、固定圆板5、金刚切割线42和气缸7,所述调节机构包括底板2、转轴3和调节板6,所述收集机构包括放置板8,所述支撑架1的数量为四个,每个所述支撑架1的上端部固定安装有同一个顶板13,所述气缸7固定安装在顶板13的下端部,所述底板2固定安装在四个支撑架1之间,所述底板2的上端部贯穿开设有柱形槽25,所述转轴3转动安装在柱形槽25的内侧壁,两个所述支撑架1之间固定安装有C形板14,所述第一传动辊4固定安装在C形板14的侧端部,所述C形板14的侧端部还固定安装有第二传动辊41,所述固定圆板5的数量为至少两个,所述固定圆板5对称设有两组,所述调节板6的数量为两个,所述放置板8的上端部固定安装有至少两个分离板81; 每两个所述支撑架1之间固定安装有同一个侧板11,两个所述侧板11的侧端部均贯穿开设有活动槽12,两个所述侧板11的下端部均贯穿开设有调节槽61,每两个所述支撑架1之间固定安装有横杆15,所述底板2的上端部固定安装有至少两个固定板21,每两个所述固定板21之间贯穿转动安装有同一个圆杆22,两个所述圆杆22的圆周端部均固定安装有第一锥形齿23,两个所述圆杆22的圆周端部还固定安装有第二锥形齿24所述底板2的上端部贯穿开设有柱形槽25,所述底板2的上端部还贯穿开设有至少两个插槽26,每个所述插槽26之间的夹角为五度; 其中,所述转轴3的上端部固定安装有第三锥型齿31,所述第三锥型齿31和两个第一锥形齿23相啮合所述转轴3的下端部设有拉板32,所述拉板32和转轴3之间固定安装有第一伸缩杆35,所述拉板32和转轴3之间还固定安装有弹簧34,所述拉板32的上端部固定安装有两个限位杆33,所述第一伸缩杆35位于弹簧34的内侧壁,所述限位杆33滑动位于插槽26的内侧壁所述第一传动辊4和第二传动辊41的圆周端部套设有至少两个金刚切割线42,位于C形板14一侧的所述固定圆板5和C形板14之间固定安装有固定轴51,每个所述固定圆板5之间均固定安装有第二伸缩杆52,每个所述固定圆板5的侧端部开设有线槽53,每个所述线槽53的内侧壁均转动安装有转动盘54,每个所述金刚切割线42均位于线槽53的内侧壁每个所述固定圆板5的侧端部均固定安装有C形杆55,每个所述C形杆55的侧端部均贯穿开设有圆槽57,每个所述C形杆55均通过圆槽57滑动安装在两个横杆15上,所述C形杆55的侧端部还固定安装有调节杆56,所述调节板6的侧端部贯穿开设有至少两个调节槽61,每个所述调节杆56均位于调节槽61的内侧壁,两个所述调节板6的上端部均固定安装有L形顶杆62,两个所述L形顶杆62均滑动安装在活动槽12的内侧壁,两个所述L形顶杆62的上端部均贯穿开设有螺纹槽63; 其中,所述调节槽61的内侧壁转动安装有螺纹杆64,所述螺纹杆64螺纹转动安装在螺纹槽63的内侧壁,两个所述螺纹杆64的圆周端部均固定安装有第四锥型齿65,两个所述第四锥型齿65分别和两个第二锥形齿24相啮合,两侧所述螺纹杆64的螺纹方向相反,每个所述调节槽61均为倾斜设置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人南通元兴智能科技有限公司,其通讯地址为:226000 江苏省南通市开发区晨阳路19号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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