芯恩(青岛)集成电路有限公司宋焕骁获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利一种供应管道的加热装置及半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223150645U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422472207.0，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种供应管道的加热装置及半导体设备是由宋焕骁;修怡宁;孔贺廷;刘瑞设计研发完成，并于2024-10-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种供应管道的加热装置及半导体设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种供应管道的加热装置及半导体设备，其中加热装置包括气体分配装置、集气管、第一管道和加热件；所述第一管道的一端连接于所述气体分配装置，另一端连接于所述集气管，用于将所述气体分配装置处的气体转移至所述集气管内；所述加热件设置于所述第一管道外部，以加热所述第一管道。本发明能够控制前驱体温度，能使气体温度能够适配不同的加工工艺，从而能获得最佳工艺剖面。
本实用新型一种供应管道的加热装置及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种供应管道的加热装置，所述供应管道用于传输反应物至晶圆处理腔室，其特征在于，所述加热装置包括气体分配装置100、集气管200、第一管道300和加热件310； 所述第一管道300的一端连接于所述气体分配装置100，另一端连接于所述集气管200，用于将所述气体分配装置100处的气体转移至所述集气管200内； 所述加热件310设置于所述第一管道300外部，以加热所述第一管道300。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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