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广东旗滨节能玻璃有限公司刘石泉获国家专利权

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龙图腾网获悉广东旗滨节能玻璃有限公司申请的专利用于磁控溅射真空镀膜装置的阴极磁棒获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223150635U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422472064.3,技术领域涉及:C23C14/35;该实用新型用于磁控溅射真空镀膜装置的阴极磁棒是由刘石泉;温斌;蓝佩设计研发完成,并于2024-10-12向国家知识产权局提交的专利申请。

用于磁控溅射真空镀膜装置的阴极磁棒在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种用于磁控溅射真空镀膜装置的阴极磁棒,涉及真空磁控溅射镀膜技术领域,其中,所述阴极磁棒包括芯管、固定板和活动板,固定板固定安装于芯管的端部,固定板设有开口,以与芯管相连通,活动板可拆卸地安装于固定板,且活动板封堵开口。本实用新型的技术方案通过采用在芯管的端部固定安装固定板,固定板设有开口,以与芯管相连通;并增设活动板,活动板可拆卸地安装于固定板,且活动板封堵固定板上的开口。由于活动板与固定板可拆卸安装,维修时只需将活动板取下,即可对阴极磁棒进行维修,以延长阴极磁棒的使用寿命,且避免采用切开密封盖的方式进行维修,大大降低了维修成本。

本实用新型用于磁控溅射真空镀膜装置的阴极磁棒在权利要求书中公布了:1.一种用于磁控溅射真空镀膜装置的阴极磁棒,其特征在于,包括: 芯管; 固定板,所述固定板固定安装于所述芯管的端部,所述固定板设有开口,以与所述芯管相连通;以及 活动板,所述活动板可拆卸地安装于所述固定板,且所述活动板封堵所述开口,所述活动板与所述固定板连接形成一密封盖。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人广东旗滨节能玻璃有限公司,其通讯地址为:517000 广东省河源市东源县蓝口镇土坡、角塘、车头山村;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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