上海馨欧集成微电有限公司张丽萍获国家专利权
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龙图腾网获悉上海馨欧集成微电有限公司申请的专利低温度漂移的声学滤波器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119519653B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411485235.4,技术领域涉及:H03H9/54;该发明授权低温度漂移的声学滤波器是由张丽萍设计研发完成,并于2024-10-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本低温度漂移的声学滤波器在说明书摘要公布了:本发明提供一种低温度漂移的声学滤波器,在其电学拓扑结构的谐振器串联臂上设置至少一个谐振频率最大、反谐振频率最小的等效串联谐振器,且使该至少一个等效串联谐振器的TCF的绝对值小于其他所有的等效串联谐振器的TCF的绝对值。该声学滤波器在不影响通带响应的情况下,可以有效增强声学滤波器通带频率和通带右侧边缘的频率温度稳定性,降低了对谐振器带宽的要求,尤其对于声学滤波器目标频带右侧临近频段较为拥挤时,提高了声学滤波器目标频带右侧的容错范围,降低声学滤波器的设计难度;另外,当声学滤波器中的声波谐振器的支撑衬底采用具有高热导率的材料时,还可提升器件的散热性能,进一步辅助降低频率漂移。
本发明授权低温度漂移的声学滤波器在权利要求书中公布了:1.一种低温度漂移的声学滤波器,其特征在于,所述声学滤波器包括:m个等效串联谐振器及n个等效并联谐振器,m和n均为大于等于1的自然数,且m≥n; m个所述等效串联谐振器在输入端和输出端之间依次串联构成谐振器串联臂; n个所述等效并联谐振器的一端分别连接至相邻的所述等效串联谐振器之间的m-1个节点处,n个所述等效并联谐振器的另一端接地,构成m-1个谐振器并联臂;或n个所述等效并联谐振器的一端分别连接至相邻的所述等效串联谐振器之间的m-1个节点处和所述谐振器串联臂的首端或末端,n个所述等效并联谐振器的另一端接地,构成m个谐振器并联臂; 所述谐振器串联臂中至少一个所述等效串联谐振器的谐振频率高于所述谐振器串联臂中其它所述等效串联谐振器的谐振频率,该至少一个所述等效串联谐振器的反谐振频率低于所述谐振器串联臂中其它所述等效串联谐振器的反谐振频率,且该至少一个所述等效串联谐振器的TCF的绝对值小于所述谐振器串联臂中其它所述等效串联谐振器的TCF的绝对值; 所述声学滤波器基于异质衬底结构形成;所述异质衬底结构包括具有各向异性的高声速支撑衬底及位于所述高声速支撑衬底上的具有面内各向异性的压电薄膜,其中,所述高声速支撑衬底的慢剪切波声速高于所述压电薄膜内目标声波模式的声速。
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