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龙图腾网获悉苏州精材半导体科技有限公司;北京精材半导体科技有限公司申请的专利化学气相沉积设备的供应系统与供应方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119506851B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411540770.5，技术领域涉及：C23C16/52；该发明授权化学气相沉积设备的供应系统与供应方法是由朴钟熏;崔海珍;金锡津设计研发完成，并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本化学气相沉积设备的供应系统与供应方法在说明书摘要公布了：本专利涉及化学气相沉积领域，特别地涉及一种化学气相沉积设备的供应系统与供应方法，化学气相沉积设备的供应系统包括：反应容器、至少一个连接组件、引导轨与平移装置。反应容器用于提供化学气相沉积反应的反应空间，至少一个连接组件设置在反应容器部的外表面，引导轨沿一直线设置，反应容器设置在引导轨上。平移装置与连接组件可拆卸连接，用于带动反应容器沿引导轨运动。通过平移装置带动反应容器沿着引导轨进行移动，实现反应容器能沿着固定反向在各个工位之间的移动。反应容器能在不同的工位进行精确的定位，用于输气管在反应容器到达工位后与反应容器对接，以确保化学气相沉积工作的顺利进行。

本发明授权化学气相沉积设备的供应系统与供应方法在权利要求书中公布了：1.一种化学气相沉积设备的供应系统，其特征在于，包括： 反应容器，用于提供化学气相沉积反应的反应空间； 至少一个连接组件，设置在所述反应容器的外表面； 引导轨，沿一直线设置，所述反应容器设置在所述引导轨上； 平移装置，与所述连接组件可拆卸连接，用于带动所述反应容器沿所述引导轨运动； 所述化学气相沉积设备的供应系统还包括： 校准装置，包括： 两个推动定位机构，对称地设置在所述引导轨的两侧； 两个所述推动定位机构分别沿垂直于所述引导轨的方向作用在所述反应容器的外表面上，用于校准所述反应容器的朝向； 控制模块，与所述推动定位机构通信连接，以根据指令控制所述推动定位机构的运动； 所述推动定位机构包括： 贴合组件，用于与所述反应容器的外表面相贴合，以带动所述反应容器进行校准； 伸缩组件，与所述贴合组件相连接，与所述控制模块通信连接；所述伸缩组件根据所述控制模块的指令，带动所述贴合组件沿垂直于所述引导轨的方向运动，以使所述贴合组件与所述反应容器的外表面相贴合，并对所述反应容器施加用于校准的外力； 所述贴合组件包括： 贴合板，与所述伸缩组件相连接，所述贴合板用于与所述反应容器的外表面相贴合，以带动所述反应容器进行校准； 摩擦轮，设置在所述贴合板朝向所述反应容器的一侧，所述摩擦轮与所述反应容器的外表面相贴合，以减轻所述贴合板与所述反应容器的接触摩擦力； 所述贴合组件包括：贴合部件，包括多个彼此转动连接的贴合板，且相邻的贴合板的连接处设置有扭簧，以使得所述贴合组件的多个贴合板倾向于形成C字形状，所述贴合板在外力作用下抵接于所述反应容器的外表面时，克服所述扭簧的弹性力，与所述反应容器的外表面相贴合； 至少两个伸缩连接杆，分别连接于所述伸缩组件的两侧，并与所述贴合部件相连接； 通过改变所述伸缩连接杆的伸缩量，从而调整所述反应容器的朝向。

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