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龙图腾网获悉蓝河科技(绍兴)有限公司申请的专利半导体加工系统及其处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119400745B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411552199.9，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权半导体加工系统及其处理方法是由王东兴;张伟设计研发完成，并于2024-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体加工系统及其处理方法在说明书摘要公布了：本申请提供一种半导体加工系统及其处理方法，半导体加工系统包括转运装置、前置处理室、至少两个工艺室、主控装置和托运装置，至少有两个工艺室容纳不同尺寸的基座，托运装置包括用于承载基座的缓存装置，缓存装置包括可调节尺寸的承载区域。半导体加工系统处理方法包括主控装置根据获取并接收到的转运装置的信息或至少一工艺室的信息判断需要转入基座的工艺室后，根据待转入基座的工艺室能容纳基座的基座尺寸信息控制缓存装置调整承载区域的尺寸，然后将对应的基座放置在承载区域上，主控装置控制托运装置带动基座进入前置处理室，将对不同尺寸基座向前置处理室的的转运流程集成在一条产线上进行，提高产线集成度。

本发明授权半导体加工系统及其处理方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体加工系统处理方法，其特征在于，包括： S0、提供半导体加工系统； 所述半导体加工系统至少包括转运装置、前置处理室、至少两个工艺室、主控装置和托运装置，所述托运装置上设置有用于承托基座的缓存装置，所述缓存装置包括可调节尺寸的承载区域，至少部分所述工艺室所用于容纳的基座尺寸不同；所述主控装置与各所述工艺室、所述托运装置以及所述缓存装置通信连接； S1、所述主控装置获取并根据接收到的所述转运装置的信息或至少一所述工艺室的信息判断需要转入基座的所述工艺室； S2、所述主控装置获取并根据待转入基座的所述工艺室能容纳基座的基座尺寸信息，控制所述托运装置的所述缓存装置调整所述承载区域的尺寸； S3、将与所述承载区域尺寸相适配的对应所述基座放置在所述承载区域上； S4、所述主控装置控制所述托运装置将所述基座运至所述前置处理室内； S5、所述主控装置控制所述转运装置将所述基座转运至对应所述工艺室； 其中，所述主控装置存储有第一承重下限阈值和承重差减阈值范围，所述缓存装置包括呈放射状分布的若干直线位移机构，各所述直线位移机构滑动设置支撑座，各所述支撑座为可升降的支撑座并设置有与所述主控装置通信连接的承重传感装置； 所述步骤S3中，将与所述承载区域尺寸相适配的对应所述基座放置在所述承载区域上的步骤包括： S31、所述主控装置控制所述转运装置将所述基座放置在已调整好承载区域尺寸的所述托运装置的所述缓存装置上，并使所述转运装置维持与所述基座之间的持有关系； S32、所述主控装置获取并根据接收到的各所述承重传感装置发送的承重值，判断各所述支撑座的承重值大于等于所述第一承重下限阈值，且任意两所述支撑座的承重值之差在所述承重差减阈值范围内； S33、所述主控装置控制所述转运装置解除与所述基座之间的持有关系。

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