南通华核医疗科技有限公司田海滨获国家专利权
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龙图腾网获悉南通华核医疗科技有限公司申请的专利一种制备微孔微阀硅橡胶芯片的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119292003B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411604363.6,技术领域涉及:G03F7/20;该发明授权一种制备微孔微阀硅橡胶芯片的方法是由田海滨;段铁成;孙碧英设计研发完成,并于2024-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种制备微孔微阀硅橡胶芯片的方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种制备微孔微阀硅橡胶芯片的方法,包括以下步骤:S1、用尼龙丝网将PCB感光蓝油涂在硅片上;S2、将涂布蓝油的硅片置于烘箱中干燥,干燥完后,冷却至室温;S3、将印有芯片微通道的菲林片覆贴于蓝油涂层表面,硅片四角用透明胶贴合固定,并用紫外线曝光,然后剥离菲林片,用显影液浸泡硅片,浸泡显影后使用毛刷将没有曝光的部分清除干净,流水冲洗。本发明通过丝网布差异性二次感光蓝油涂布方法,结合两次曝光的方式来进行微孔微阀硅橡胶芯片的制造,避免了使用正光胶长时间曝光带来的线宽变化和技术困难,同时也不需要多次进行曝光,工艺更加简单,也缩短了制造芯片的流程,有利于芯片的制备。
本发明授权一种制备微孔微阀硅橡胶芯片的方法在权利要求书中公布了:1.一种制备微孔微阀硅橡胶芯片的方法,其特征在于,包括以下步骤: S1、用尼龙丝网将PCB感光蓝油涂在硅片上; S2、将涂布蓝油的硅片置于烘箱中干燥,干燥完后,冷却至室温; S3、将印有芯片微通道的菲林片覆贴于蓝油涂层表面,硅片四角用透明胶贴合固定,并用紫外线曝光,然后剥离菲林片,用显影液浸泡硅片,浸泡显影后使用毛刷将没有曝光的部分清除干净,流水冲洗; S4、把冲洗干净的硅片取出,使用烘箱将其烘干; S5、另取一块尼龙丝网,平铺在平整光滑的塑料板上,取少量感光蓝油,用丝网聚胺酯刮板刮填整个丝网,保持感光蓝油湿润,用镊子慢慢提起被刮填完成的丝网膜,将其转移至硅片的上表面; S6、将丝网膜从硅片表面剥离,并将此硅片倒扣使其上表面朝下呈倒置状态,同时把硅片放置在中间落空的框架上; S7、然后将硅片转移至烘箱干燥,干燥完成后将蓝油硅片取出,用原先的菲林片贴近对准覆盖蓝油涂层表面,再次曝光; S8、将硅片上的菲林片剥离,并把硅片放入显影液中进行浸泡,浸泡完成后使用毛刷清除没有曝光的部分,流水冲洗,用电吹风吹去多余水分,再用烘箱干燥,此时获得微通道微阀门集成的芯片阳模的制备; S9、以芯片阳模作为模具,用硅橡胶AB胶进行浇注翻模,从而获得硅橡胶管道部分芯片,再利用空气等离子体处理硅橡胶表面与另外薄膜硅橡胶键合后,获得微孔微阀硅橡胶芯片。
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