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龙图腾网获悉星奇(上海)半导体有限公司申请的专利一种半导体气体传输组合装置综合测试系统及测试方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119880286B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510378837.8，技术领域涉及：G01M3/20；该发明授权一种半导体气体传输组合装置综合测试系统及测试方法是由钱本华设计研发完成，并于2025-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体气体传输组合装置综合测试系统及测试方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种半导体气体传输组合装置综合测试系统及测试方法。其中系统具有第一通道和第二通道，第一通道和第二通道用于接入待测半导体气体传输组合装置；所述第一通道的另一端通过第一阀门连接5N‑HE气源，通过第二阀门连接9N‑N2气源，以及通过第三阀门连接5N‑N2气源；所述第二通道的另一端通过第四阀门同时连接微量氧分析仪和微量水分析仪，并通过第五阀门连接颗粒计数仪，以及通过第六阀门连接氦质谱仪。本申请测试系统能够实现不同测试项目的无缝切换，快速完成半导体气体传输组合装置的测试，全面提升测试效率。

本发明授权一种半导体气体传输组合装置综合测试系统及测试方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体气体传输组合装置综合测试系统，其特征在于，具有第一通道和第二通道，第一通道和第二通道的一端接入待测半导体气体传输组合装置； 所述第一通道的另一端通过第一阀门连接5N-HE气源，通过第二阀门连接9N-N2气源，以及通过第三阀门连接5N-N2气源；所述9N-N2气源依次通过减压阀、限流器和第九阀门同时连接至微量氧分析仪和微量水分析仪；测试全过程，保持减压阀、限流器以及第九阀门处于开启状态； 所述第二通道的另一端通过第四阀门同时连接微量氧分析仪和微量水分析仪，并通过第五阀门连接颗粒计数仪，以及通过第六阀门连接氦质谱仪； 第一通道和第二通道分别通过第一总阀门和第二总阀门接入待测半导体气体传输组合装置； 测试步骤包括： 泄漏检测：打开第一总阀门和第一阀门，打开第二总阀门和第六阀门，向待测半导体气体传输组合装置充入5N-HE，利用氦质谱仪依次进行内漏和外漏检测； 微量水氧检测：关闭第一总阀门，打开第二总阀门，打开待测半导体气体传输组合装置内部全部阀门和第六阀门，利用氦质谱仪持续抽真空，然后关闭第六阀门，打开第一总阀门、第二阀门和第四阀门，向待测半导体气体传输组合装置充入9N-N2进行微量水和微量氧检测； 保压检测：打开第一总阀门，打开待测半导体气体传输组合装置内部全部阀门和第三阀门，到达预设压力值后，关闭第一总阀门，对待测半导体气体传输组合装置进行保压测试； 颗粒检测：打开第一总阀门，第二总阀门，打开待测半导体气体传输组合装置内部全部阀门、第三阀门和第五阀门，向待测半导体气体传输组合装置充入5N-N2进行颗粒测试。

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