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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利晶圆支撑组件及其控制方法和半导体设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119920750B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510397415.5，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权晶圆支撑组件及其控制方法和半导体设备是由陈海祥设计研发完成，并于2025-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆支撑组件及其控制方法和半导体设备在说明书摘要公布了：本申请公开一种晶圆支撑组件及其控制方法和半导体设备，属于半导体加工技术领域，晶圆支撑组件中，支撑本体具有用以支撑晶圆的支撑面，且支撑本体安装于旋转机构；第一驱动件和夹持机构的数量均为至少三个，且一一对应，多个第一驱动件沿旋转机构的转动方向间隔安装于支撑本体中支撑面的下方；各夹爪均转动安装于支撑本体，任一对应设置的第一驱动件和第二驱动件中的一者包括电磁体，各电磁体均具有第一状态和第二状态，在电磁体处于第一状态的情况下，第一驱动件与第二驱动件相互排斥，且各夹爪均接触于晶圆的外缘；在电磁体均处于第二状态的情况下，第一驱动件与第二驱动件相互吸引。该晶圆支撑组件能够解决目前的卡盘整体结构相对复杂的问题。

本发明授权晶圆支撑组件及其控制方法和半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆支撑组件，其特征在于，包括旋转机构（100）、支撑机构（200）和夹持机构（300），其中， 所述支撑机构（200）包括支撑本体（210）和第一驱动件（220），所述支撑本体（210）具有用以支撑晶圆（900）的支撑面，且所述支撑本体（210）安装于所述旋转机构（100），所述旋转机构（100）用以驱动所述支撑本体（210）转动； 所述第一驱动件（220）和所述夹持机构（300）的数量均为至少三个，多个所述第一驱动件（220）沿所述旋转机构（100）的转动方向间隔安装于所述支撑本体（210）中所述支撑面的下方，多个所述夹持机构（300）与多个所述第一驱动件（220）一一对应设置； 各所述夹持机构（300）均包括夹爪（310）和安装于所述夹爪（310）的第二驱动件（320），各所述夹爪（310）均转动安装于所述支撑本体（210），所述第二驱动件（320）位于所述第一驱动件的下方，所述第一驱动件和所述第二驱动件均位于所述夹爪（310）的转动轴线的内侧，任一对应设置的所述第一驱动件（220）和所述第二驱动件（320）中的一者包括电磁体，各所述电磁体均具有第一状态和第二状态，在所述电磁体处于第一状态的情况下，所述第一驱动件（220）与所述第二驱动件（320）相互排斥，且各所述夹爪（310）均接触于所述晶圆（900）的外缘；在所述电磁体均处于第二状态的情况下，所述第一驱动件（220）与所述第二驱动件（320）相互吸引。

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