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素珀电子科技(上海)有限公司常志勇获国家专利权

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龙图腾网获悉素珀电子科技(上海)有限公司申请的专利一种机械手末端执行器及机械手臂获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119910681B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510405376.9,技术领域涉及:B25J15/08;该发明授权一种机械手末端执行器及机械手臂是由常志勇;刘春廷;侯双明;张贵东设计研发完成,并于2025-04-02向国家知识产权局提交的专利申请。

一种机械手末端执行器及机械手臂在说明书摘要公布了:本发明公开了一种机械手末端执行器及机械手臂,包括:手指部,包括沿自身长度方向延伸的手指本体,具有近端和远端;第一夹持件,固定连接在所述手指本体的远端,所述第一夹持件开设有第一限位卡槽,包括倾斜过渡面及与之连续延伸的第一约束面;第二夹持件,平移地设置在所述手指本体的近端,所述第二夹持件开设有第二限位卡槽,第二限位卡槽包括导向坡面及与之连续延伸的第二约束面,第一约束面与第二约束面形成动态的夹持空间,用于约束晶圆片边缘;直线驱动件,具有可线性位移的输出端,所述输出端与所述第二夹持件连接。采用上述方案,用以在对晶圆片进行夹持过程中同步调整晶圆水平度,同时减少晶圆片边缘的损伤。

本发明授权一种机械手末端执行器及机械手臂在权利要求书中公布了:1.一种机械手末端执行器,其特征在于,包括: 手指部(3),包括沿自身长度方向延伸的手指本体(32),具有近端和远端; 第一夹持件,固定连接在所述手指本体(32)的远端,所述第一夹持件的侧壁朝向所述手指本体(32)的中心方向开设有第一限位卡槽(311),所述第一限位卡槽(311)包括倾斜过渡面(3131)及与之连续延伸的第一约束面(3132),所述第一夹持件包括至少两个与所述手指本体(32)固定连接的夹持块(31),所述夹持块(31)包括一体成型的承载体(312)和遮挡体(313),所述第一限位卡槽(311)开设在所述遮挡体(313)上,所述承载体(312)具有与所述第一约束面(3132)相邻的调平面; 第二夹持件,平移地设置在所述手指本体(32)的近端,所述第二夹持件的侧壁朝向所述手指本体(32)的中心方向开设有与所述第一限位卡槽(311)相对的第二限位卡槽(241),所述第二限位卡槽(241)包括导向坡面(2421)及与之连续延伸的第二约束面(2422),所述第一约束面(3132)与第二约束面(2422)在水平方向相对并形成动态的夹持空间,所述夹持空间用于约束晶圆片(6)边缘,所述导向坡面(2421)自所述第二约束面(2422)的边缘向外渐扩延伸,所述导向坡面(2421)对称分布在所述第二约束面(2422)的两侧; 直线驱动件(25),具有可线性位移的输出端,所述输出端与所述第二夹持件连接;其中,当所述直线驱动件(25)的输出端驱动所述第二夹持件往靠近所述第一夹持件的方向线性位移并改变所述夹持空间范围时,所述倾斜过渡面(3131)和所述导向坡面(2421)相互靠近并校正位于夹持空间内晶圆片(6)的水平度; 所述第二夹持件包括至少两个与所述直线驱动件(25)固定连接的顶块(24); 所述顶块(24)包括一体成型的弧形部(242)和插接部(243),所述第二限位卡槽(241)沿所述弧形部(242)的外轮廓开设,所述弧形部(242)的外轮廓呈半椭圆状。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人素珀电子科技(上海)有限公司,其通讯地址为:201206 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区宁桥路615号1幢402室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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