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龙图腾网获悉华侨大学申请的专利一种等离子双面抛光金刚石的加工装置以及抛光加工方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119910511B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510416099.1，技术领域涉及：B24B1/00；该发明授权一种等离子双面抛光金刚石的加工装置以及抛光加工方法是由徐西鹏;薛明普;闫东潇;段念;黄辉设计研发完成，并于2025-04-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种等离子双面抛光金刚石的加工装置以及抛光加工方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种等离子双面抛光金刚石的加工装置以及抛光加工方法，加工装置包括可相互转动的等离子体发生器、封闭罩和两个抛光盘；该抛光盘即被用做抛光工具又充当该等离子体发生器的介质阻挡层，该等离子体发生器置于封闭罩中，在上下抛光盘之间产生含活性自由基的等离子体，含活性自由基的等离子体可以对金刚石衬底、上抛光盘和下抛光盘进行改性。最后，通过转动实现上抛光盘和下抛光盘对金刚石衬底的抛光加工。有效改善了等离子体辅助加工的方式，且不需要真空室。该方法能有效消除研磨和粗抛留下的表面损伤层，既能有效保障衬底抛光效率的同时，又能保障整个衬底表面达到较高的表面质量。

本发明授权一种等离子双面抛光金刚石的加工装置以及抛光加工方法在权利要求书中公布了：1.一种等离子双面抛光金刚石的加工装置，包括封闭罩以及可转动地接合在所述封闭罩上的等离子体发生器，所述等离子体发生器具有上电极板和下电极板，所述上电极板和所述下电极板置于所述封闭罩内，其特征在于，还包括： 抛光盘，设有两个，分别接合在所述上电极板和所述下电极板上，所述抛光盘由介质阻挡放电材料制成，所述介质阻挡放电材料为石英玻璃； 夹持机构，设于两个所述抛光盘之间，用于夹持工件，所述夹持机构上设有多个通孔； 供气机构，通过进气管与所述封闭罩连通，用于输入混合气体，使所述两个抛光盘之间能够产生等离子体； 驱动机构，与所述等离子体发生器连接，所述驱动机构能够驱动所述等离子体发生器旋转，从而带动两个所述抛光盘转动以对工件进行抛光加工； 所述夹持机构包括太阳轮、内齿圈和若干游星轮，所述太阳轮固装在下方的抛光盘上，所述内齿圈固定接合在所述封闭罩的内壁上，所述若干游星轮啮合在所述内齿圈与所述太阳轮之间，使所述抛光盘转动时，能够通过所述太阳轮带动所述游星轮实现自转和公转，所述多个通孔设于所述游星轮上，每个所述游星轮上均设有用于夹持工件的矩形孔和圆形孔； 所述进气管从下到上依次贯穿所述下电极板、下抛光盘和所述太阳轮的轴心，所述封闭罩其中一侧设有出气口。

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