常州铭赛机器人科技股份有限公司陈文杰获国家专利权
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龙图腾网获悉常州铭赛机器人科技股份有限公司申请的专利方型面板晶圆搬运输送方法及其输送装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119943730B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510423634.6,技术领域涉及:H01L21/677;该发明授权方型面板晶圆搬运输送方法及其输送装置是由陈文杰;曲东升;李寒冰;沈臻;王江坤;李长峰;周典虬;林翔设计研发完成,并于2025-04-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本方型面板晶圆搬运输送方法及其输送装置在说明书摘要公布了:本发明涉及点胶机技术领域,尤其涉及一种方型面板晶圆搬运输送方法及其输送装置。方法包括:多个方型面板晶圆层叠放置于料盒,料盒位于料盒装载工位;控制器控制搬运设备从料盒里搬运方型面板晶圆至预备工位,对方型面板晶圆进行扫码、定位、抗翘曲和预热,预备工位作业完成后反馈至控制器;控制器将预备工位作业后的方型面板晶圆搬运至空闲状态的点胶机进行点胶作业,点胶作业完成后处于出料状态且反馈至控制器;控制器控制搬运设备将点胶后的方型面板晶圆取走送入检测工位进行检测作业,完成后反馈至控制器;控制器控制搬运设备将检测后的方型面板晶圆取走,送入到对应的料盒里,实现对方型面板晶圆的快速输送,避免晶圆翘曲,整体作业效率高。
本发明授权方型面板晶圆搬运输送方法及其输送装置在权利要求书中公布了:1.一种方型面板晶圆搬运输送方法,其特征在于,所述方型面板晶圆上设置有定位标识; 所述方法包括以下步骤: S1,多个方型面板晶圆层叠放置于料盒内,多个方型面板晶圆的定位标识方向相同,所述料盒位于料盒装载工位(11)上; S2,控制器(15)控制搬运设备(16)开始作业,搬运设备(16)从料盒内按层顺序取出方型面板晶圆,搬运设备(16)将方型面板晶圆搬运至预备工位(12),控制器(15)控制预备工位(12)作业,对方型面板晶圆依次进行扫码、定位、抗翘曲和预热,预备工位(12)作业完成后反馈至控制器(15); S3,空闲状态的点胶机(13)进料准备就绪,预备工位(12)根据空闲状态的点胶机(13)的布置方位对方型面板晶圆进行角度旋转,控制器(15)控制搬运设备(16)对预备工位(12)上角度旋转后的方型面板晶圆进行搬运,搬运设备将该角度旋转后的方型面板晶圆搬运至空闲状态的点胶机(13),并反馈至控制器(15),控制器(15)控制该空闲状态的点胶机(13)进行点胶作业,点胶作业完成后的点胶机(13)处于出料状态并反馈至控制器(15); S4,控制器(15)控制搬运设备(16),搬运设备(16)将点胶后的方型面板晶圆取走并送入检测工位(14),并反馈至控制器(15),控制器(15)控制检测工位(14)对该方型面板晶圆进行工件点胶状态检测作业,检测完成后反馈至控制器(15); S5,控制器(15)控制检测工位(14)对方型面板晶圆进行角度旋转,角度旋转后的方型面板晶圆通过搬运设备(16)从检测工位(14)上取走,搬运设备(16)将该调整旋转角度的方型面板晶圆送入所述料盒内,使得方型面板晶圆的定位标识方向与所述步骤S1中的方型面板晶圆的定位标识方向相同,完成搬运输送作业。
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