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深圳市圭华智能科技有限公司张立获国家专利权

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龙图腾网获悉深圳市圭华智能科技有限公司申请的专利一种玻璃晶圆通孔加工设备及其控制方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119952313B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510436228.3,技术领域涉及:B23K26/382;该发明授权一种玻璃晶圆通孔加工设备及其控制方法是由张立;周建红;张伟;方艳阳;叶宗辉;邓超;王冲设计研发完成,并于2025-04-09向国家知识产权局提交的专利申请。

一种玻璃晶圆通孔加工设备及其控制方法在说明书摘要公布了:本发明涉及玻璃晶圆生产加工技术领域,尤其涉及一种玻璃晶圆通孔加工设备及其控制方法,包括有机座,机座上部外围设置有机罩,机座上部一侧安装有机械臂,机座上部中间处的后侧安装有三维驱动部,三维驱动部上安装有激光打孔仪,机座上部中间处设置有承载座,承载座内部的空腔四向敞开设计。本发明通过环状抽气管与延展管组成的分布式负压,在晶圆底面形成均匀吸附力场,减少局部应力集中导致的形变;硅胶夹具的径向弹性夹持与接触球的微观嵌入定位,形成物理接触式误差抑制体系,有效抵消真空吸附造成的晶圆形变,使定位精度提升;滑座与联动杆构成平行四边形运动,通过丝杆驱动实现同步对称位移,确保晶圆中心偏移量减小。

本发明授权一种玻璃晶圆通孔加工设备及其控制方法在权利要求书中公布了:1.一种玻璃晶圆通孔加工设备,包括有机座(1);其特征是:还包括有机座(1)上部外围设置的机罩(11),机座(1)上部一侧安装的机械臂(12),机座(1)上部中间处的后侧安装的三维驱动部(13),三维驱动部(13)上安装的激光打孔仪(14),机座(1)上部中间处设置的承载座(2),承载座(2)内部的空腔四向敞开设计,承载座(2)的顶板四侧对应下方的敞开处设有凸出部,各凸出部内均开有滑槽,承载座(2)的顶板上部设置有加工台(21),加工台(21)与顶板之间共同装载有吸附组件,加工台(21)上部各边缘均开设有斜面凹槽,承载座(2)内上部中间处安装有电机(3),承载座(2)内下部中间处对称设置有导框(31),导框(31)与电机(3)外部连接,两导框(31)中部转动设置有丝杆(32),丝杆(32)与电机(3)输出轴连接,丝杆(32)外部转动设置有推动板(33),推动板(33)与导框(31)滑动连接,承载座(2)凸出部的各滑槽内均滑动安装有滑座(34),各滑座(34)下部均铰接有联动杆(35),各联动杆(35)两端的铰接轴内均设置有扭簧一(36),各滑座(34)内上部均滑动设置有硅胶夹具(37),各硅胶夹具(37)的夹持端均呈倾斜设计,该倾斜部与斜面凹槽滑动接触,硅胶夹具(37)与滑座(34)的滑动连接处设置有弹簧一(38),各联动杆(35)下部的铰接轴之间共同设置有环座(39),环座(39)中部掏空,推动板(33)与环座(39)滑动接触,使其围绕在导框(31)外部做直线移动;吸附组件包括有抽气管(4)、真空泵(41)和延展管(42),承载座(2)内上部中间处安装有环状布设的抽气管(4),承载座(2)内上侧部安装有与抽气管(4)接通的真空泵(41),抽气管(4)上部对称连通有多个竖直状的延展管(42),各延展管(42)均穿过承载座(2)内上部且置于加工台(21)内部,延展管(42)的抽入端与加工台(21)上表面齐平,且其内设有滤网;还包括有顶升板(5)、配合件(51)、顶杆(52)、扭簧二(53)和接触球(54),承载座(2)内上部中间的两侧均铰接有顶升板(5),两顶升板(5)均与下方的推动板(33)转动抵触,两顶升板(5)朝外的两端均对称铰接有配合件(51),各配合件(51)中部均铰接有顶杆(52),各顶杆(52)皆滑动贯穿承载座(2)内上部及加工台(21)内部,各顶杆(52)与对应的配合件(51)的铰接轴两端皆设置有扭簧二(53),各顶杆(52)内上部均嵌入且转动设置有接触球(54),接触球(54)与玻璃圆晶下表面接触。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳市圭华智能科技有限公司,其通讯地址为:518100 广东省深圳市龙华区大浪街道大浪社区同富屯工业区98号101;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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