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龙图腾网获悉长沙众耀新能源有限公司申请的专利一种真空成膜装置及成膜方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119951161B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510436678.2，技术领域涉及：B01D9/02；该发明授权一种真空成膜装置及成膜方法是由郭玉昆;张文君;任福梦;郭思溢;牛亚红设计研发完成，并于2025-04-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种真空成膜装置及成膜方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种真空成膜装置及成膜方法，涉及真空成膜技术领域，其中装置包括真空腔体，所述真空腔体连接有抽气管路、进气管路和泄压管路，所述抽气管路远离所述真空腔体的一端连接有真空泵，所述抽气管路上设有比例阀，所述进气管路远离所述真空腔体的一端连接有惰性气体源，所述惰性气体源能够向所述真空腔体内输送惰性气体，所述进气管路上设有进气调节阀，所述泄压管路远离所述真空腔体的一端连接有泄压气源，所述泄压气源能够向所述真空腔体内输送泄压气体。本发明通入惰性气体来使真空腔体内的压力位置在成膜初始压力一段时间，并且采用真空泵数量少，使用成本低，并且占用空间较小。

本发明授权一种真空成膜装置及成膜方法在权利要求书中公布了：1.一种真空成膜装置的成膜方法，其特征在于：采用真空成膜装置，所述真空成膜装置包括真空腔体，所述真空腔体连接有抽气管路、进气管路和泄压管路，所述抽气管路远离所述真空腔体的一端连接有真空泵，所述抽气管路上设有比例阀，所述进气管路远离所述真空腔体的一端连接有惰性气体源，所述惰性气体源能够向所述真空腔体内输送惰性气体，所述进气管路上设有进气调节阀，所述泄压管路远离所述真空腔体的一端连接有泄压气源，所述泄压气源能够向所述真空腔体内输送泄压气体； 真空成膜装置的成膜方法包括以下步骤： S1、开启真空泵； S2、打开真空腔体，放入涂布湿膜后待成膜的基片，关闭真空腔体； S3、根据要求设置真空腔体内部压强数值，打开管道阀，通过进气调节阀和比例阀的调节来调节真空腔体的内部压强，并维持压力；具体过程为：先启动真空泵对真空腔体内抽真空，使得真空腔体内的压强逐渐变小直至到小于成膜初始压力，然后开启进气调节阀并调节比例阀以及进气调节阀的开度大小，使得进气速率与出气速率相同，从而维持真空腔体内的压力使之保持不变，并记住此时进气调节阀的刻度值，然后，再次调节进气调节阀的开度，使得进气速率大于抽气速率，故真空腔体内的气压逐渐增大，直至成膜初始压力，此时将进气调节阀再次调整到刚才记录的刻度位置，从而使得真空腔体的内部压力可以维持在这一数值； S4、当进入成膜工作时，关闭进气调节阀并全开比例阀，使得真空腔体内的压力从成膜初始压力下降到成膜最终压力，从而完成基片成膜过程； S5、关闭比例阀并打开泄压阀，使得真空腔体达到常压并取出基片。

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