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龙图腾网获悉新毅东(北京)科技有限公司申请的专利一种物镜模组及光刻成像系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120010094B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510459517.5，技术领域涉及：G02B13/00；该发明授权一种物镜模组及光刻成像系统是由张琪;符友银;张国军设计研发完成，并于2025-04-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种物镜模组及光刻成像系统在说明书摘要公布了：本申请提供一种物镜模组及光刻成像系统，涉及光学成像技术领域，物镜模组配置于光刻成像系统的物面与像面之间，物镜模组包括由物面至像面依次设置的第一镜组、第二镜组和显微物镜组，第一镜组和第二镜组均为双高斯结构或者均为双高斯衍生结构，第一镜组焦距大于第二镜组焦距。能够在保证较大视场的前提下，减小物镜模组中光学透镜的口径尺寸，增加物方工作距离，提高成像质量。

本发明授权一种物镜模组及光刻成像系统在权利要求书中公布了：1.一种物镜模组，配置于光刻成像系统的物面与像面之间，其特征在于，所述物镜模组由物面至像面依次设置的第一镜组、第二镜组和显微物镜组组成，所述第一镜组和所述第二镜组均为双高斯结构或者均为双高斯衍生结构，第一镜组焦距大于第二镜组焦距； 所述第一镜组为沿主光轴依次设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜和第七透镜，第一透镜光焦度和第二透镜光焦度为正光焦度，第三透镜光焦度、第四透镜光焦度和第五透镜光焦度为负光焦度，第六透镜光焦度和第七透镜光焦度为正光焦度； 所述第二镜组为沿主光轴依次设置的第八透镜、第九透镜、第十透镜、第十一透镜、第十二透镜、第十三透镜、第十四透镜和第十五透镜，第八透镜光焦度、第九透镜光焦度和第十透镜光焦度为正光焦度，第十一透镜光焦度、第十二透镜光焦度和第十三透镜光焦度为负光焦度，第十四透镜光焦度和第十五透镜光焦度为正光焦度； 所述显微物镜组为沿主光轴依次设置的第十六透镜、第十七透镜、第十八透镜、第十九透镜、第二十透镜、第二十一透镜和第二十二透镜，第十六透镜光焦度为正光焦度，第十七透镜光焦度为负光焦度，第十八透镜光焦度、第十九透镜光焦度、第二十透镜光焦度、第二十一透镜光焦度和第二十二透镜光焦度为正光焦度。

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