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龙图腾网获悉上海隐冠半导体技术有限公司申请的专利一种垂向微调装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120007918B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510481758.X，技术领域涉及：F16M11/04；该发明授权一种垂向微调装置是由伏兆娣;江旭初;彭仁强;胡兵;唐艳文设计研发完成，并于2025-04-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种垂向微调装置在说明书摘要公布了：本申请属于半导体制造技术领域，提供一种垂向微调装置，包括彼此间隔的第一组件和第二组件，第一组件包括沿第一磁体部，第二组件包括嵌套设置的第一背铁和第一线圈，第一磁体部同轴套设于第一背铁的外侧，第一线圈位于第一磁体部与第一背铁之间，第一线圈与第一磁体部间隔设置，并连接至第一背铁，第一磁体部的充磁方向为其径向方向。第二组件与第一组件之间产生有磁浮力和洛伦兹力，通过磁浮力能够实现对垂向微动台的重力和簧片的反向作用力的补偿，通过洛伦兹力实现了对垂向微动台的驱动作用，磁浮力和洛伦兹力的合力在垂向微动台较大的位移范围内呈线性变化，使得垂向微调装置具有恒刚度特性，改善了垂向微调装置内的音圈电机的发热问题。

本发明授权一种垂向微调装置在权利要求书中公布了：1.一种垂向微调装置，其特征在于，包括同轴且彼此间隔设置的第一组件（10）和第二组件（20），以所述第一组件（10）的轴线方向为z方向，所述第一组件（10）与所述第二组件（20）能够沿所述z方向相对运动； 所述第一组件（10）包括第一磁体部（11），所述第一磁体部（11）的充磁方向为其径向方向； 所述第二组件（20）包括第一背铁（211）和第一线圈（221），所述第一磁体部（11）同轴套设于所述第一背铁（211）的外侧，所述第一线圈（221）位于所述第一磁体部（11）与所述第一背铁（211）之间，所述第一线圈（221）与所述第一磁体部（11）间隔设置，并连接至所述第一背铁（211）； 所述第二组件（20）还包括第二背铁（212），所述第二背铁（212）同轴套设于所述第一磁体部（11）的外侧，并与所述第一磁体部（11）间隔设置； 所述第一组件（10）还包括一个或多个第二磁体部（12），所述第二组件（20）还包括一个或多个第三线圈（223），所述第二磁体部（12）与所述第三线圈（223）同轴且彼此间隔设置，并沿径向依次交替嵌套设置； 所述第二磁体部（12）和所述第三线圈（223）位于所述第一磁体部（11）与所述第一线圈（221）之间，或者环设于所述第一磁体部（11）与所述第二背铁（212）之间。

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