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龙图腾网获悉季华实验室申请的专利一种气体供给装置及其制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120072611B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510530579.0，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种气体供给装置及其制造方法是由杨一新设计研发完成，并于2025-04-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种气体供给装置及其制造方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体制造领域，特别是一种气体供给装置及其制造方法。气体供给装置包括第一密封板、第二密封板、流道面板和分流通道，第一密封板上设有进气孔，第二密封板上设有多个出气孔，流道面板设置在第一密封板和第二密封板之间，分流通道设置在流道面板上，分流通道包括多级子通道，每个子通道设有一个通道入口和四个通道出口，上一级子通道的通道出口与下一级子通道的通道入口相连通，第一级子通道的通道入口与进气孔相连通，最后一级子通道的通道出口与出气孔相连通。经过逐级4n分流，形成多层级均匀气路，形成一个均匀的排气面，均匀分布到基板表面，提高气体的均匀性，确保每个出气孔输出的气体浓度相近。

本发明授权一种气体供给装置及其制造方法在权利要求书中公布了：1.一种气体供给装置，其特征在于，包括： 第一密封板（100），所述第一密封板（100）上设有进气孔（110）； 第二密封板（200），所述第二密封板（200）上设有多个出气孔（210）； 流道面板（310），所述流道面板（310）设置在所述第一密封板（100）和第二密封板（200）之间； 分流通道（320），所述分流通道（320）设置在所述流道面板（310）上，所述分流通道（320）包括多级子通道，每个子通道设有一个通道入口和四个通道出口，上一级子通道的通道出口与下一级子通道的通道入口相连通，第一级子通道（321）的通道入口与所述进气孔（110）相连通，最后一级子通道的通道出口与所述出气孔（210）相连通； 所述子通道包括横向通道和纵向通道，所述横向通道和所述纵向通道组合形成田字形通道，所述通道入口设置在所述田字形通道的中心，所述通道出口设置在所述田字形通道的四角； 所述子通道设有n级，所述n为自然数且n≥2，所述流道面板（310）的一面设置第n级子通道，所述流道面板（310）的另一面设置第n-1级子通道，所述第n级子通道和所述第n-1级子通道通过穿孔相连通。

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