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深圳云潼微电子科技有限公司;重庆云潼科技有限公司张伟获国家专利权

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龙图腾网获悉深圳云潼微电子科技有限公司;重庆云潼科技有限公司申请的专利一种沟槽型IGBT器件及其制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120111908B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510562738.5,技术领域涉及:H10D12/00;该发明授权一种沟槽型IGBT器件及其制造方法是由张伟;田甜;刘继平;廖光朝设计研发完成,并于2025-04-30向国家知识产权局提交的专利申请。

一种沟槽型IGBT器件及其制造方法在说明书摘要公布了:本发明涉及半导体技术领域,尤其涉及一种沟槽型IGBT器件及其制造方法,该方法包括:衬底,以及位于衬底上的P‑基区、栅极区、发射极区;P‑基区位于栅极区之间,且P‑基区与栅极区相接触;发射极区包括:N+有源区、短路区、闩锁区和发射极金属区;N+有源区位于P‑基区上,且位于栅极区之间,以及位于栅极区和短路区之间;短路区间隔分布在P‑基区上,位于闩锁区之上,并与闩锁区相接触;闩锁区位于P‑基区中,对应位于短路区之间的间隔区域之下;发射极金属区填充在间隔区域中,覆盖N+有源区、短路区和栅极区。该器件结构有效降低IGBT器件的饱和电流,大大提高IGBT的抗短路能力,同时提高IGBT器件的抗闩锁能力。

本发明授权一种沟槽型IGBT器件及其制造方法在权利要求书中公布了:1.一种沟槽型IGBT器件,其特征在于,包括:衬底,以及位于所述衬底上的P-基区、栅极区、发射极区; 所述P-基区位于所述栅极区之间,且所述P-基区与所述栅极区相接触; 所述发射极区包括:N+有源区、短路区、闩锁区和发射极金属区; 所述N+有源区位于所述P-基区上,且位于所述栅极区之间,以及位于所述栅极区和短路区之间; 所述短路区间隔分布在所述P-基区上,且位于所述栅极区之间,以及位于所述闩锁区之上,并与所述闩锁区相接触; 所述闩锁区位于所述P-基区中,且位于所述栅极区之间,以及对应位于所述短路区之间的间隔区域之下;所述闩锁区的底部靠近所述P-基区的底部; 所述发射极金属区填充在所述间隔区域中,并覆盖所述N+有源区、所述短路区和所述栅极区; 所述短路区包括:短路沟槽和短路多晶硅;所述短路多晶硅填充在所述短路沟槽中,以使所述短路区形成镇流电阻,提高IGBT器件的抗短路能力; 所述闩锁区包括:闩锁沟槽和闩锁多晶硅,所述闩锁多晶硅填充在所述闩锁沟槽中,以使所述闩锁区作为多晶硅电极,提高IGBT器件的抗闩锁能力。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳云潼微电子科技有限公司;重庆云潼科技有限公司,其通讯地址为:518122 广东省深圳市坪山区坑梓街道秀新社区秀盛一路7号C栋405;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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