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龙图腾网获悉中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))申请的专利一种晶圆电子束关键尺寸测量精度提升装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120120996B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510621607.X，技术领域涉及：G01B15/00；该发明授权一种晶圆电子束关键尺寸测量精度提升装置是由杨霖;郑文炜;罗凯元;李潮;丁翔设计研发完成，并于2025-05-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆电子束关键尺寸测量精度提升装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆电子束关键尺寸测量精度提升装置，包括光学测量模块和运动模块；运动模块用于移动被测晶圆，包括三维宏动子模块、二维微动子模块、运动模块固定夹具和晶圆夹持固定机构，光学测量模块用于测量运动模块与扫描电子显微镜的物镜之间的相对位移，包括双频激光器、光学镜组、第1单轴激光差分干涉仪和第2单轴激光差分干涉仪；三维宏动子模块用于为被测晶圆提供粗定位，二维微动子模块用于为被测晶圆提供精定位；第1单轴激光差分干涉仪用于测量二维微动子模块与物镜在X轴方向的相对位移，第2单轴激光差分干涉仪用于测量二维微动子模块与物镜在Y轴方向的相对位移。本发明能够有效提升晶圆电子束关键尺寸的测量精度。

本发明授权一种晶圆电子束关键尺寸测量精度提升装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆电子束关键尺寸测量精度提升装置，应用于扫描电子显微镜，其特征在于，包括光学测量模块和运动模块； 运动模块用于移动被测晶圆，包括三维宏动子模块、二维微动子模块、运动模块固定夹具和晶圆夹持固定机构，光学测量模块用于测量运动模块与扫描电子显微镜的物镜之间的相对位移，包括双频激光器、光学镜组、第1单轴激光差分干涉仪和第2单轴激光差分干涉仪； 三维宏动子模块用于为被测晶圆提供粗定位，能够进行X、Y、Z三个方向的移动，二维微动子模块用于为被测晶圆提供精定位，能够在X、Y轴方向运动，运动模块固定夹具位于扫描电子显微镜的腔体内部，运动模块固定夹具上安装有三维宏动子模块，三维宏动子模块上安装有二维微动子模块，二维微动子模块上安装有晶圆夹持固定机构，晶圆夹持固定机构上固定有被测晶圆； 双频激光器用于发射测量激光，光学镜组用于与第1单轴激光差分干涉仪和第2单轴激光差分干涉仪共同构成测量光路，第1单轴激光差分干涉仪用于测量二维微动子模块与物镜在X轴方向的相对位移，第2单轴激光差分干涉仪用于测量二维微动子模块与物镜在Y轴方向的相对位移； 光学镜组包括分光镜、三棱折射镜、第1立方体折射镜、第2立方体折射镜、第3立方体折射镜、二维测量反射镜和二维参考反射镜，二维测量反射镜固定于二维微动子模块上，二维参考反射镜固定于扫描电子显微镜的物镜外壳上； 双频激光器发出的光束经过第1立方体折射镜和第2立方体折射镜后，由分光镜分为X轴光束和Y轴光束； X轴光束垂直射入第1单轴激光差分干涉仪，由第1单轴激光差分干涉仪分为4束光，其中2束为参考光，另外2束为测量光，2束测量光经三棱折射镜折射到二维测量反射镜的X轴反射面，2束参考光经三棱折射镜折射到二维参考反射镜的X轴反射面，4束光经反射沿原光路回到第1单轴激光差分干涉仪，由第1单轴激光差分干涉仪测量出二维微动子模块与物镜在X轴方向的相对位移； Y轴光束经过第3折射镜折射后垂直射入第2单轴激光差分干涉仪，由第2单轴激光差分干涉仪分为4束光，其中2束为参考光，另外2束为测量光，2束测量光垂直入射到二维测量反射镜的Y轴反射面，2束参考光垂直入射到二维参考反射镜的Y轴反射面，4束光经反射沿原光路回到第2单轴激光差分干涉仪，由第2单轴激光差分干涉仪测量出二维微动子模块与物镜在Y轴方向的相对位移。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))，其通讯地址为：511370 广东省广州市增城区朱村街朱村大道西78号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。