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嘉际环控(西安)科技有限公司刘超获国家专利权

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龙图腾网获悉嘉际环控(西安)科技有限公司申请的专利一种防掉落的半导体清洗装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120133218B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510630332.6,技术领域涉及:B08B3/04;该发明授权一种防掉落的半导体清洗装置是由刘超;金炫宇;张宝宝设计研发完成,并于2025-05-16向国家知识产权局提交的专利申请。

一种防掉落的半导体清洗装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种防掉落的半导体清洗装置,涉及半导体清洗技术领域,本发明包括框架,所述框架内壁固定有清洗模组,所述清洗模组用于清洗半导体晶圆,所述框架内壁右侧固定有控制箱,所述控制箱用于启动清洗模组,所述框架顶面固定有H形架,所述H形架顶面中间开设有滑槽,所述H形架顶面固定有两个H形块,所述H形块内壁转动安装有螺杆,所述螺杆外壁开设有非自锁式螺纹槽,所述H形架顶面左边固定有伺服电机,所述伺服电机的转轴右端与螺杆的左端固定连接,所述螺杆的外壁滑动安装有内槽块,本发明通过底框的半弧槽限制半导体晶圆位移,从而避免了半导体晶圆从底框中滚落造成半导体晶圆碎裂损坏的问题。

本发明授权一种防掉落的半导体清洗装置在权利要求书中公布了:1.一种防掉落的半导体清洗装置,包括框架(1),所述框架(1)内壁固定有清洗模组(2),其特征在于:所述清洗模组(2)用于清洗半导体晶圆; 所述框架(1)内壁右侧固定有控制箱(3),所述控制箱(3)用于启动清洗模组(2); 所述框架(1)顶面固定有H形架(4),所述H形架(4)顶面中间开设有滑槽,所述H形架(4)顶面固定有两个H形块(5),所述H形块(5)内壁转动安装有螺杆(6),所述螺杆(6)外壁开设有非自锁式螺纹槽,所述H形架(4)顶面左边固定有伺服电机(7),所述伺服电机(7)的转轴右端与螺杆(6)的左端固定连接,所述螺杆(6)的外壁滑动安装有内槽块(8),所述内槽块(8)的内壁与螺杆(6)的螺纹槽相互啮合,所述内槽块(8)外壁底部与框架(1)滑槽内壁滑动连接,所述内槽块(8)顶面和底面固定有回形框(9),所述回形框(9)底面贯穿且固定有电动伸缩杆(10),所述电动伸缩杆(10)的伸缩端底面固定有U形架(11),所述U形架(11)内壁底部固定安装有底框(12),所述底框(12)用于装载半导体晶圆; 所述U形架(11)外壁设置有加热装置(13),所述加热装置(13)用于加热洗刷池(202)中的清洁液; 所述加热装置(13)的外壁设置有冲刷装置(14),所述冲刷装置(14)用于喷出清洁液冲刷底框(12)中的半导体晶圆; 所述加热装置(13)包括U形板(131),所述U形板(131)固定在U形架(11)外壁底部,所述U形板(131)位于底框(12)右边,所述U形板(131)内壁右侧固定有长壳(132),所述长壳(132)内壁固定安装有若干电阻加热棒(133),所述长壳(132)右侧固定安装有防水盖(134); 所述U形板(131)内壁前后固定有U形竖架(135),所述U形竖架(135)底面贯穿且滑动安装有若干滑杆(136),所述滑杆(136)底面固定有双弧板(137),所述双弧板(137)位于底框(12)的下方,所述滑杆(136)顶面固定有圆板(138),所述圆板(138)底面与U形竖架(135)内部底端之间设置有弹簧(139),所述弹簧(139)拉升时的弹力用于减少底框(12)底面与孔板(203)之间的磕碰。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人嘉际环控(西安)科技有限公司,其通讯地址为:710076 陕西省西安市高新区新型工业园发展大道32号B座112室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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