香港科技大学(广州)徐巍获国家专利权
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龙图腾网获悉香港科技大学(广州)申请的专利一种槽盖机构及药液槽装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223155990U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521234566.0，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种槽盖机构及药液槽装置是由徐巍;李艺杰设计研发完成，并于2025-06-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种槽盖机构及药液槽装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种槽盖机构及药液槽装置，涉及半导体清洗刻蚀技术领域，其中槽盖机构包括密封箱、盖板、转轴、传动组件以及驱动器；密封箱内设有密封腔；转轴转动安装于密封箱，且位于密封腔外；盖板与转轴固定连接；驱动器安装于密封腔内，且其驱动端伸出密封箱的一侧面；驱动端通过传动组件与转轴的一端连接，用于带动转轴转动。将驱动器安装于密封箱的密封腔内，避免了驱动器直接暴露在作业环境中，使其免受药液挥发产生的腐蚀性物质影响，减少了因腐蚀导致的损坏，有效延长了驱动器的使用寿命，从而降低了维护成本。
本实用新型一种槽盖机构及药液槽装置在权利要求书中公布了：1.一种槽盖机构，其特征在于，包括密封箱（1）、盖板（4）、转轴（3）、传动组件（5）以及驱动器（2）； 所述密封箱（1）内设有密封腔（10）； 所述转轴（3）转动安装于所述密封箱（1），且位于所述密封腔（10）外； 所述盖板（4）与所述转轴（3）固定连接； 所述驱动器（2）安装于所述密封腔（10）内，且其驱动端伸出所述密封箱（1）的一侧面； 所述驱动端通过所述传动组件（5）与所述转轴（3）的一端连接，用于带动所述转轴（3）转动。
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