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三星显示有限公司金圭范获国家专利权

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龙图腾网获悉三星显示有限公司申请的专利蚀刻装置及显示装置的制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112775555B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010552348.7,技术领域涉及:B23K26/362;该发明授权蚀刻装置及显示装置的制造方法是由金圭范;金道善;朴宰奭;李政燮;洪京浩;林在夏;韩圭完设计研发完成,并于2020-06-17向国家知识产权局提交的专利申请。

蚀刻装置及显示装置的制造方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种蚀刻装置及显示装置的制造方法。蚀刻装置包括:真空腔室,作为在内部对对象基板执行蚀刻工艺的真空腔室,在上表面包括透光窗;基板移送单元,设置在所述真空腔室的内部,并且在下部安置所述对象基板;以及至少一个激光模块,设置在所述真空腔室的外部,并且包括激光照射单元,所述激光照射单元通过所述透光窗向所述真空腔室的内部照射激光束LaserBeam来执行所述蚀刻工艺。

本发明授权蚀刻装置及显示装置的制造方法在权利要求书中公布了:1.一种蚀刻装置,包括: 真空腔室,作为在内部对对象基板执行蚀刻工艺的真空腔室,在上表面设有透光窗; 基板移送单元,设置在所述真空腔室的内部,并且在下部安置所述对象基板;以及 至少一个激光模块,设置在所述真空腔室的外部,并且包括激光照射单元,所述激光照射单元通过所述透光窗向所述真空腔室的内部照射激光束来执行所述蚀刻工艺, 其中,所述基板移送单元包括工作台单元, 所述工作台单元包括工作台上板及工作台下板, 所述工作台下板包括: 下板边缘部,设置在第一方向的两侧; 下板台阶部,设置在与所述第一方向交叉的第二方向的两侧;以及 下板连接部,连接所述下板边缘部和所述下板台阶部, 在所述下板边缘部与所述下板台阶部之间具有台阶。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人三星显示有限公司,其通讯地址为:韩国京畿道;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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