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龙图腾网获悉MEO工程股份有限公司申请的专利用于前体气体喷射的方法和装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114423884B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080063778.0，技术领域涉及：C23C16/448；该发明授权用于前体气体喷射的方法和装置是由A·格罗霍尔斯基;V·雷;J·法瓦塔设计研发完成，并于2020-08-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于前体气体喷射的方法和装置在说明书摘要公布了：本公开提供了一种气体喷射系统，该气体喷射系统可以包括：壳体，其被配置为容纳多个前体储罐，该多个前体储罐包括一种或多种前体材料；以及喷嘴，其从壳体伸出，该喷嘴具有一尖端，其被配置为用于插入到材料处理设备的样本室中。前体储罐与喷嘴流体地连接，以选择性地将一种或多种前体气体输送到样本室中。

本发明授权用于前体气体喷射的方法和装置在权利要求书中公布了：1.一种气体喷射系统，包括： 多个储罐壳体，所述多个储罐壳体设置在外部壳体内并且被配置为接纳多个前体储罐，所述前体储罐包括一种或多种前体材料，所述多个储罐壳体配置为被加热使得从所述一种或多种前体材料产生一种或多种前体气体； 喷嘴，其从所述外部壳体伸出，所述喷嘴具有内部输送管线和一尖端，其配置为用于插入材料处理设备的样本室中，使得所述喷嘴的所述内部输送管线与所述样本室流体连通； 输送管线，所述输送管线与所述多个前体储罐和所述内部输送管线流体连通，以与所述样本室流体连接，从而将从所述一种或多种前体材料产生的所述一种或多种前体气体输送到所述样本室； 围绕所述输送管线设置的第一导热护套，所述第一导热护套从所述多个储罐壳体延伸到所述喷嘴，使得所述第一导热护套与设置在所述外部壳体内的所述多个储罐壳体热连通；以及 第二导热护套，所述第二导热护套围绕所述喷嘴的所述内部输送管线设置； 所述喷嘴还包括围绕第二导热护套设置的外管，使得第二导热护套和所述外管之间的空间限定真空下的腔室，以去除来自输送管线的对流热传递； 所述喷嘴还包括位于所述喷嘴的尖端处的外部散热器，该外部散热器与第二导热护套导热耦合；并且 所述喷嘴还包括所述外管上游的第一加热元件和所述外管下游的第二加热元件，第一加热元件与第二导热护套相关联，第二加热元件与外部散热器相关联， 其中，当所述多个储罐壳体被加热以产生所述一种或多种前体气体时，来自所述喷嘴的第一加热元件和第二加热元件以及所述多个储罐壳体的散热差以及所述第一导热护套和所述第二导热护套的导热产生了沿着所述输送管线的热梯度以将所述输送管线维持在预选温度，从而防止所述输送管线和所述内部输送管线中的所述一种或多种前体气体冷凝。

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