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龙图腾网获悉科磊股份有限公司申请的专利高度翘曲样本的表面轮廓测量获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114631001B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080003081.4，技术领域涉及：G01B11/24；该发明授权高度翘曲样本的表面轮廓测量是由M·格林;D·欧文;陈海光设计研发完成，并于2020-10-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本高度翘曲样本的表面轮廓测量在说明书摘要公布了：一种计量工具可包含：照射源，其用以产生照射射束；射束整形器，其包含用以将所述照射射束引导到样本的可调整光学元件；及至少一个测量通道，其用以基于来自所述样本的经反射光而产生剪切干涉图，其中在所述可调整光学元件处于默认配置中且所述样本的顶部表面正交于所述射束整形器的光轴时，所述经反射光处于经准直状态中。所述计量工具可进一步包含控制器，其用以调整所述可调整光学元件的所述配置以提供所述照射射束在所述样本上的所选择角轮廓以便至少部分地补偿所述经反射光与所述经准直状态的偏差，且基于所述一或多个剪切干涉图而产生所述样本的所述顶部表面的输出表面轮廓测量。

本发明授权高度翘曲样本的表面轮廓测量在权利要求书中公布了：1.一种计量工具，其包括： 照射源，其经配置以产生照射射束； 射束整形器，其包含经配置以将所述照射射束引导到样本的一或多个可调整光学元件； 一或多个测量通道，其经配置以通过所述射束整形器接收来自所述样本的经反射光且基于所述经反射光而在一或多个检测器上产生一或多个剪切干涉图，其中在所述一或多个可调整光学元件处于默认配置中且所述样本的顶部表面正交于所述射束整形器的光轴时，所述经反射光处于经准直状态中；及 控制器，其通信地耦合到所述射束整形器及所述一或多个测量通道，其中所述控制器包含一或多个处理器，所述一或多个处理器经配置以执行致使所述一或多个处理器进行以下操作的程序指令： 调整所述射束整形器的所述一或多个可调整光学元件的所述配置以提供所述照射射束在所述样本上的所选择角轮廓以便至少部分地补偿所述经反射光与所述经准直状态的偏差，其包括： 接收所述样本的所述顶部表面或所述样本的底部表面中的至少一者的粗略表面轮廓测量，其中所述粗略表面轮廓测量具有比所述一或多个测量通道大的测量范围；及 基于所述粗略表面轮廓测量而调整所述射束整形器的所述一或多个可调整光学元件的所述配置以提供所述照射射束在所述样本上的所选择角轮廓以便至少部分地补偿所述经反射光与所述经准直状态的偏差，其包括： 接收与所述射束整形器的所述一或多个可调整光学元件的一组经校准配置相关联的所述照射射束的一组经校准角轮廓； 基于所述粗略表面轮廓测量而选择所述一组经校准角轮廓中的一个角轮廓以至少部分地补偿所述经反射光与所述经准直状态的偏差；及 将所述一或多个可调整光学元件的所述配置调整为所述一组经校准配置中的一个经校准配置以提供所述所选择角轮廓；及 基于所述一或多个剪切干涉图而产生所述样本的所述顶部表面的输出表面轮廓测量。

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