清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司张科获国家专利权
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龙图腾网获悉清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司申请的专利二次电子探头及二次电子探测器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114646689B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011497831.6,技术领域涉及:G01N29/24;该发明授权二次电子探头及二次电子探测器是由张科;陈果;柳鹏;姜开利;范守善设计研发完成,并于2020-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本二次电子探头及二次电子探测器在说明书摘要公布了:一种二次电子探头,包括一多孔碳材料层,该多孔碳材料层由多个碳材料颗粒组成,该多个碳材料颗粒之间存在纳米级或微米级的间隙,该多孔碳材料层为一电子黑体。本发明还提供采用上述二次电子探头的二次电子探测器和扫描电子显微镜探测器。
本发明授权二次电子探头及二次电子探测器在权利要求书中公布了:1.一种扫描电子显微镜探测器,包括一二次电子探头以及一电流表,该电流表包括一第一接线柱和一第二接线柱,该第一接线柱与该二次电子探头电连接,该第二接线柱接地,扫描电子显微镜的图像显示器与所述二次电子探头以及电流表电连接,并根据电流表中的电流值成像,所述二次电子探头包括一多孔碳材料层,该多孔碳材料层由多个碳材料颗粒组成,该多个碳材料颗粒之间存在纳米级或微米级的间隙,该多孔碳材料层为一电子黑体。
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