东京毅力科创株式会社菱屋晋吾获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利基板处理装置和清洁方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113496914B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110261355.6，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理装置和清洁方法是由菱屋晋吾;孙成德设计研发完成，并于2021-03-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置和清洁方法在说明书摘要公布了：本发明涉及基板处理装置和清洁方法。提供一种能够选择性地清洁喷射器的内部的技术。本公开的一个方式的基板处理装置具有：处理容器，其容纳基板；喷射器，其包括第1连接口和第2连接口，内部与所述处理容器内连通；排气管，其供所述处理容器内排气；原料气体导入管，其与所述第1连接口连接，向所述喷射器内导入原料气体；清洁气体导入管，其经由所述第1连接口和所述第2连接口中的一者向所述喷射器内导入清洁气体；以及通气管，其连接所述第1连接口和所述第2连接口中的另一者与所述排气管，供所述喷射器内排气。
本发明授权基板处理装置和清洁方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其中， 该基板处理装置具有： 处理容器，其容纳基板； 喷射器，其包括第1连接口和第2连接口，内部与所述处理容器内连通； 排气管，其供所述处理容器内排气； 原料气体导入管，其与所述第1连接口连接，向所述喷射器内导入原料气体； 清洁气体导入管，其经由所述第2连接口向所述喷射器内导入清洁气体；以及 通气管，其连接所述第1连接口与所述排气管，供所述喷射器内排气。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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