杰宜斯科技有限公司金南辰获国家专利权
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龙图腾网获悉杰宜斯科技有限公司申请的专利基板处理用排气装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113539890B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110410487.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理用排气装置是由金南辰;白承大;金成烨设计研发完成，并于2021-04-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理用排气装置在说明书摘要公布了：本发明涉及基板处理用排气装置，包括：腔室部；安装于腔室部的基底部；安装于基底部的转轴部；操作台部，安装于转轴部且能够旋转，并且使放置于操作台部的基板旋转；杯部，安装于基底部，并且将向基板喷射的药液以按照各成分分离回收的方式引导；以及内部排气部，配置于转轴部与杯部之间，用于排出流体，能够防止漂浮物质导致基板受损。
本发明授权基板处理用排气装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理用排气装置，其特征在于，包括： 腔室部； 基底部，安装于所述腔室部； 转轴部，安装于所述基底部； 操作台部，安装于所述转轴部并且能够进行旋转，并且使放置于所述操作台部的基板旋转； 杯部，安装于所述基底部，将向所述基板喷射的药液以按照各成分分离回收的方式引导； 内部排气部，配置于所述转轴部与所述杯部之间，用于排出流体；以及 外部排气部，配置于所述杯部的外侧，用于排出流体， 所述内部排气部包括内部吸入部，所述内部吸入部形成为围绕所述转轴部的外侧，存在于所述杯部与所述转轴部之间的流体流入所述内部吸入部， 所述杯部包括：杯基底部，安装于供所述转轴部安装的下板座；以及杯覆盖部，安装于所述杯基底部，并且能够按照药液的各性状上下移动， 所述外部排气部包括向外部排出流体的外部排出部。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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