周星工程股份有限公司千珉镐获国家专利权
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龙图腾网获悉周星工程股份有限公司申请的专利基板处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115552564B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180027336.5，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权基板处理设备是由千珉镐;黄喆周设计研发完成，并于2021-05-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理设备在说明书摘要公布了：本发明关于一种基板处理设备，包含：腔体、基板支撑部、顶电极以及底电极。基板支撑部于腔体中支撑一或多个基板。顶电极设置于基板支撑部之上并与基板支撑部对向设置。底电极设置于顶电极之下并与顶电极分离。底电极可包含第一电极以及第二电极。具有第一频率的第一射频电源被施加至第一电极。具有相异于第一频率的第二频率的第二射频电源被施加至第二电极。
本发明授权基板处理设备在权利要求书中公布了：1.一种用于处理基板的设备，所述设备包含： 腔体，所述腔体提供处理空间； 基板支撑部，于所述腔体中支撑一或多个基板； 顶电极；以及 底电极，设置于所述顶电极与所述基板支撑部之间，所述底电极与所述顶电极分离， 其中 所述顶电极通过第一气体流动路径喷射第一气体并通过与所述第一气体流动路径空间分离的第二气体流动路径喷射第二气体， 所述底电极具有供所述第一气体和所述第二气体通过的多个孔洞， 所述底电极包含： 半圆形板状的第一电极，具有第一频率的第一射频电源被施加至所述第一电极；以及 半圆形板状的第二电极，具有相异于所述第一频率的第二频率的第二射频电源被施加至所述第二电极， 所述第一电极和所述第二电极设置在所述处理空间中的不同位置，以在所述处理空间中在所述基板上进行利用所述第一射频电源的处理工艺和利用所述第二射频电源的处理工艺。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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