黑崎播磨株式会社服部研作获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉黑崎播磨株式会社申请的专利静电卡盘用电介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115461854B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180031673.1，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权静电卡盘用电介质是由服部研作设计研发完成，并于2021-05-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本静电卡盘用电介质在说明书摘要公布了：本发明提供一种静电卡盘用电介质，其能够在确保约翰逊‑拉别克型的静电卡盘用电介质所要求的体积固有电阻率等基本特性的同时确保充分的硬度。本发明的静电卡盘用电介质的主晶相由刚玉构成，含有Al5BO9作为其它晶相，基于粉末X射线衍射的Al5BO9的021面峰强度IA与刚玉的012面峰强度IB之比：IAIB为0.04以上且0.4以下。
本发明授权静电卡盘用电介质在权利要求书中公布了：1.静电卡盘用电介质，其中，主晶相由刚玉构成，含有Al5BO9作为其他晶相，基于粉末X射线衍射的Al5BO9的（021面）峰强度IA与刚玉的（012面）峰强度IB之比：IAIB为0.04以上且0.4以下。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人黑崎播磨株式会社，其通讯地址为：日本福冈县；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号