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龙图腾网获悉迈康尼股份公司申请的专利用于设置相对激光强度的设备和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116368433B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180070282.0，技术领域涉及：G03F1/68；该发明授权用于设置相对激光强度的设备和方法是由F·伊伦设计研发完成，并于2021-10-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于设置相对激光强度的设备和方法在说明书摘要公布了：为表示光刻曝光的多个像素设置相应相对激光强度的一种设备、计算机程序、计算机可读介质和方法。该多个像素包括：至少一个边缘像素，位于待曝光的像素区域的边缘处；以及至少一个相邻像素，排列为在朝向该待曝光的像素区域的与边缘垂直的方向上与该至少一个边缘像素相距一个像素。该方法包括将多个像素的每个像素的相对激光强度从先前设置的相应第一相对激光强度成比例地降低到相应第二相对激光强度。将像素的相对激光强度的激光剂量转换从先前设置的第一激光剂量转换成比例地调整到第二激光剂量转换，使得每个像素的相应有效曝光激光剂量通过该相应第二相对激光强度的第二激光剂量转换来实现，该每个像素的相应有效曝光激光剂量等于由该相应第一相对激光强度的第一激光剂量转换产生的每个像素的相应有效曝光激光剂量。将该至少一个边缘像素的边缘像素或该至少一个相邻像素的相邻像素的相应相对激光强度从相应第二相对激光强度增加到相应第三相对激光强度。

本发明授权用于设置相对激光强度的设备和方法在权利要求书中公布了：1.一种用于为表示光刻曝光的多个像素设置相应的相对激光强度的方法，其中所述多个像素包括：至少一个边缘像素，位于待曝光的像素区域的边缘上；以及至少一个相邻像素，所述至少一个相邻像素排列为在朝向所述待曝光的像素区域的与边缘垂直的方向上与所述至少一个边缘像素相距一个像素，所述方法包括以下步骤： 将所述多个像素的每个像素的相对激光强度从先前设置的相应第一相对激光强度成比例地降低到相应第二相对激光强度； 将像素的相对激光强度的激光剂量转换从先前设置的第一激光剂量转换成比例地调整到第二激光剂量转换，使得每个像素的相应有效曝光激光剂量通过所述相应第二相对激光强度的所述第二激光剂量转换来实现，所述每个像素的相应有效曝光激光剂量等于由所述相应第一相对激光强度的所述第一激光剂量转换产生的每个像素的相应有效曝光激光剂量；以及 通过常数相加项，将所述至少一个边缘像素的边缘像素或所述至少一个相邻像素的相邻像素的所述相应相对激光强度从所述相应第二相对激光强度增加到相应第三相对激光强度。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人迈康尼股份公司，其通讯地址为：瑞典泰比；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。