深圳市汇芯通信技术有限公司樊永辉获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市汇芯通信技术有限公司申请的专利集成芯片及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114465599B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111681558.7,技术领域涉及:H03H9/25;该发明授权集成芯片及其制备方法是由樊永辉;许明伟;樊晓兵设计研发完成,并于2021-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本集成芯片及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开一种集成芯片及其制备方法,其中,集成芯片包括衬底、压电层、声表面波谐振器以及谐振电路单元;压电层形成于衬底层的一侧上,压电层上形成有隔离凹槽,以将压电层分隔成并排间隔设置的第一部分和第二部分;声表面波谐振器形成于压电层上,且对应第一部分设置;谐振电路单元形成于压电层上,且对应第二部分设置;其中,声表面波谐振器的电信号输入端电连接外部信号源,声表面波谐振器的电信号输出端电连接谐振电路单元;通过将声表面波谐振器和谐振电路单元集成于同一芯片上,可以提升滤波器的带宽,同时提高器件集度、减小功耗、降低芯片面积和制造成本。
本发明授权集成芯片及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种集成芯片,其特征在于,包括: 衬底; 压电层,形成于衬底层的一侧上,所述压电层上形成有隔离凹槽,以将所述压电层分隔成并排间隔设置的第一部分和第二部分; 声表面波谐振器,形成于所述压电层上,且对应所述第一部分设置;以及,谐振电路单元,形成于所述压电层上,且对应所述第二部分设置; 其中,所述声表面波谐振器的电信号输入端电连接外部信号源,所述声表面波谐振器的电信号输出端电连接所述谐振电路单元; 所述声表面波谐振器包括: 叉指换能器,设于所述压电层,包括并排设置的输入换能器和输出换能器,所述输入换能器用以将输入的电信号转化为声波输出,所述输出换能器用以接收所述输入换能器输出的声波、并转化为电信号输出;以及, 两个反射器,分设于所述输入换能器和所述输出换能器相背离的两侧; 其中,所述声表面波谐振器的电信号输入端包括所述输入换能器的输入端,所述声表面波谐振器的电信号输出端包括所述输出换能器的输出端。
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