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龙图腾网获悉无锡光诺自动化科技有限公司申请的专利一种新型晶圆缺陷检测装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114769157B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210347764.2，技术领域涉及：B07C5/34；该发明授权一种新型晶圆缺陷检测装置是由韩志刚;陈伟设计研发完成，并于2022-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种新型晶圆缺陷检测装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种新型晶圆缺陷检测装置，包括底座及依次设置在底座上料架、取料装置、晶圆旋转定位装置、晶圆架移动装置、晶圆翻转装置、晶圆缺陷检测装置、打点装置、烘干装置和放料装置；在晶圆架移动装置上设置晶圆架，晶圆放置在晶圆架上。本发明具有方便检测晶圆双面缺陷及对检测缺陷打点标记，同时可对打点标记进行烘干，防止墨迹二次污染晶圆，提高生产效率等优点。

本发明授权一种新型晶圆缺陷检测装置在权利要求书中公布了：1.一种新型晶圆缺陷检测装置，其特征在于：包括底座（1）及依次设置在底座（1）上的料架（3）、取料装置、晶圆旋转定位装置、晶圆架移动装置（13）、晶圆翻转装置、晶圆缺陷检测装置、打点装置、烘干装置和放料装置；在所述晶圆架移动装置（13）上设置晶圆架（20），用于放置晶圆；所述晶圆架移动装置（13）将所述晶圆架（20）分别移动到晶圆翻转位、晶圆检测位、晶圆打点位、晶圆烘干位和晶圆架初始位；所述取料装置将料架（3）上的晶圆移动到定位晶圆放置位，且将定位晶圆放置位上定位后的晶圆放置到晶圆架初始位的晶圆架（20）上；所述晶圆旋转定位装置从定位晶圆放置位拿取晶圆，对晶圆进行定位，后将定位后的晶圆放置到定位晶圆放置位；所述晶圆翻转装置从晶圆翻转位的晶圆架（20）上拿取晶圆，并对晶圆进行翻转，后将翻转的晶圆放置到晶圆翻转位的晶圆架（20）上；所述晶圆缺陷检测装置对晶圆检测位的晶圆架（20）的晶圆进行拍照；所述打点装置对晶圆打点位的晶圆架（20）的晶圆进行打点标记；所述烘干装置将晶圆烘干位的晶圆架（20）打点后的晶圆拿取烘干；所述放料装置将烘干后的晶圆放入废料盒或良品盒中；所述取料装置包括设置在所述底座（1）上的取料滑轨（2）和取料移动气缸（40）；在所述取料滑轨（2）上可滑动设置取料移动支架（41）；所述取料移动气缸（40）和所述取料移动支架（41）连接，驱动取料移动支架（41）在取料滑轨（2）上移动；在所述取料移动支架（41）上分别固定设置取料升降气缸（44）和可滑动设置取料支架（42）；所述取料升降气缸（44）和所述取料支架（42）连接，驱动取料支架（42）在取料移动支架（41）上移动；在所述取料支架（42）上分别设置取料吸盘一（43）和取料吸盘二（45），取料吸盘一（43）将料架（3）上的晶圆吸取或释放；所述晶圆旋转定位装置包括分别设置在所述底座（1）上的定位滑轨（28）和定位座（24）；在所述定位滑轨（28）上分别固定设置定位移动气缸（30）和可滑动设置定位放置架（29）；所述定位移动气缸（30）和所述定位放置架（29）连接，驱动定位放置架（29）在定位滑轨（28）上移动；在所述定位放置架（29）上分别固定设置定位转动马达（31）和可转动设置晶圆定位放置座（32）；所述定位转动马达（31）和晶圆定位放置座（32）连接，驱动晶圆定位放置座（32）转动；在所述定位座（24）上设置定位支架（25）；在所述定位支架（25）上分别固定设置定位光源（27）和可滑动设置定位相机支架（26）；在所述定位相机支架（26）上设置定位相机（33）。

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