无锡唯因特数据技术有限公司刘孝阳获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
龙图腾网获悉无锡唯因特数据技术有限公司申请的专利镀膜厚度控制方法、装置和存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114662056B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210338852.6,技术领域涉及:G06F17/18;该发明授权镀膜厚度控制方法、装置和存储介质是由刘孝阳;陈丞;刘义俊;白伟锋设计研发完成,并于2022-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本镀膜厚度控制方法、装置和存储介质在说明书摘要公布了:本申请公开了一种镀膜厚度控制方法、装置和存储介质,涉及智能控制技术领域,所述方法包括:获取目标参数的目标聚类信息,所述目标聚类信息包括膜厚数据的第一聚类信息和工艺运行参数的第二聚类信息;周期性采集镀膜过程中的实时工艺运行参数;根据贝叶斯算法、所述目标聚类信息以及周期性采集的所述实时工艺运行参数,控制镀膜厚度。解决了现有的镀膜控制方法得到镀膜质量存在不足的问题,达到了可以周期性采集实时工艺运行参数,进而实时控制镀膜厚度,提高镀膜质量的效果。
本发明授权镀膜厚度控制方法、装置和存储介质在权利要求书中公布了:1.一种镀膜厚度控制方法,其特征在于,所述方法包括: 获取目标参数的目标聚类信息,所述目标聚类信息包括膜厚数据的第一聚类信息和工艺运行参数的第二聚类信息; 周期性采集镀膜过程中的实时工艺运行参数; 根据贝叶斯算法、所述目标聚类信息以及周期性采集的所述实时工艺运行参数,控制镀膜厚度,包括: 根据所述贝叶斯算法、所述目标聚类信息以及周期性采集的所述实时工艺运行参数,计算膜厚为目标厚度的概率,包括: 根据所述第一聚类信息以及所述目标厚度,确定所述目标厚度所属的厚度聚类类别; 根据所述第二聚类信息以及周期性采集的所述实时工艺运行参数,确定当前所属的参数聚类类别; 获取第一概率,所述第一概率为膜厚属于所述厚度聚类类别的次数与总次数的比值; 获取第二概率,所述第二概率为工艺运行参数属于所述参数聚类类别的次数与总次数的比值; 获取第三概率,所述第三概率为膜厚属于所述厚度聚类类别时工艺运行参数属于所述参数聚类类别的次数与膜厚属于所述厚度聚类类别的次数的比值; 根据所述贝叶斯算法、所述第一概率、所述第二概率和所述第三概率,计算膜厚为目标厚度的概率; 若计算得到的概率低于预设阈值,则根据所述目标厚度从数据库中查询目标工艺运行参数,将镀膜过程中的工艺运行参数调整至所述目标工艺运行参数。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人无锡唯因特数据技术有限公司,其通讯地址为:214000 江苏省无锡市新吴区龙山路2-18-806;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。