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龙图腾网获悉无锡光诺自动化科技有限公司申请的专利一种晶圆检测装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114749390B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210350682.3，技术领域涉及：B07C5/34；该发明授权一种晶圆检测装置是由韩志刚设计研发完成，并于2022-04-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆检测装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种晶圆检测装置，包括底座及分别设置在底座上的检测位滑轨一、检测位取放料滑轨、方向检测架和打点架；检测位滑轨一上固定设置检测位移动气缸一；检测位滑轨一和检测位取放料滑轨间滑动设置放置座一；检测位移动气缸一和放置座一连接；放置座一上设置放料装置一，用于放置晶圆，并对晶圆进行转动定位；检测位取放料滑轨一侧设置取放料装置一，用于从晶圆盒取晶圆并将晶圆放置到放置装置一中或从放置装置一取晶圆并将晶圆放置到晶圆盒中；方向检测架一侧上设置方向检测相机一；方向检测架另一侧上设置缺陷检测相机；打点架上设置打点机。本发明具有方便检测晶圆缺陷及对检测缺陷进行打点标记，提高生产效率等优点。

本发明授权一种晶圆检测装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆检测装置，其特征在于：包括底座（1）及分别设置在底座（1）上的检测位滑轨一（34）、检测位取放料滑轨（33）、方向检测架（6）和打点架（23）；在所述检测位滑轨一（34）上固定设置检测位移动气缸一（4）；在所述检测位滑轨一（34）和检测位取放料滑轨（33）间滑动设置放置座一（3）；所述检测位移动气缸一（4）和所述放置座一（3）连接，驱动放置座一（3）在检测位滑轨一（34）和检测位取放料滑轨（33）间移动；在所述放置座一（3）上设置放料装置一（5），用于放置晶圆，并对晶圆进行转动定位；在所述检测位取放料滑轨（33）一侧设置取放料装置一（2），用于从晶圆盒取晶圆并将晶圆放置到放料装置一（5）中或从放料装置一（5）取晶圆并将晶圆放置到晶圆盒中；在所述方向检测架（6）一侧上滑动设置方向检测支架一（7）；在所述方向检测支架一（7）上分别固定设置方向检测光源一（10）和滑动设置方向检测相机架一（8）；在所述方向检测相机架一（8）上设置方向检测相机一（9）；在所述方向检测架（6）另一侧上设置缺陷检测滑轨（17）；在所述缺陷检测滑轨（17）上滑动设置缺陷检测支架（19）；在所述缺陷检测支架（19）上分别固定设置缺陷检测光源（22）和滑动设置缺陷检测相机架（20）；在所述缺陷检测相机架（20）上设置缺陷检测相机（21）；在所述打点架（23）上设置打点滑轨（24）；在所述打点滑轨（24）上滑动设置打点座（25）；在所述打点座（25）上设置打点机（26）；还包括设置在所述底座（1）上的检测位滑轨二（35）；在所述检测位滑轨二（35）上固定设置检测位移动气缸二（37）；在所述检测位滑轨二（35）和检测位取放料滑轨（33）间滑动设置的放置座二（36）；所述检测位移动气缸二（37）和所述放置座二（36）连接，驱动放置座二（36）在检测位滑轨二（35）和检测位取放料滑轨（33）间移动；在所述放置座二（36）上设置放料装置二（11），用于放置晶圆，并对晶圆进行转动定位；在所述检测位取放料滑轨（33）另一侧设置取放料装置二（38），用于从晶圆盒取晶圆并将晶圆放置到放料装置二（11）中或从放料装置二（11）取晶圆并将晶圆放置到晶圆盒中；在所述方向检测架（6）上设置方向检测支架二（13）；在所述方向检测支架二（13）上分别固定设置方向检测光源二（12）和滑动设置方向检测相机架二（14）；在所述方向检测相机架二（14）上设置方向检测相机二（15）；在所述方向检测架（6）上设置缺陷检测气缸（18）；所述缺陷检测气缸（18）和所述缺陷检测支架（19）连接，驱动缺陷检测支架（19）在缺陷检测滑轨（17）上移动；在所述打点架（23）上设置打点气缸（27）；所述打点气缸（27）和所述打点座（25）连接，驱动打点座（25）在打点滑轨（24）上移动；所述放料装置一（5）、放料装置二（11）均包括放料上盘（506）、可转动设置在所述放置座一（3）或放置座二（36）上的放料下盘（505）、可滑动设置在所述放置座一（3）或放置座二（36）上的齿轮离合滑块（510）及分别固定设置在所述放置座一（3）或放置座二（36）上的齿轮离合气缸（501）、调向驱动装置（508）和调向皮带轮（509）；所述放料上盘（506）和放料下盘（505）间设置调距螺杆；在所述调距螺杆上分别设置正螺纹、反螺纹；所述放料上盘（506）、放料下盘（505）分别和调距螺杆的正螺纹、反螺纹连接，旋转调距螺杆，放料上盘（506）、放料下盘（505）贴近或分离；在所述调距螺杆上设置松紧齿轮（504）；在所述齿轮离合滑块（510）上设置驱动齿轮组（503）及齿轮组驱动装置（502），齿轮组驱动装置（502）驱动驱动齿轮组（503）转动；所述齿轮离合气缸（501）和齿轮离合滑块（510）连接，驱动齿轮离合滑块（510）在放置座一（3）或放置座二（36）上移动，使驱动齿轮组（503）和松紧齿轮（504）啮合或分离；所述调向驱动装置（508）和调向皮带轮（509）连接，驱动调向皮带轮（509）转动；在所述调向皮带轮（509）和所述放料下盘（505）间套设调向皮带（507）。

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