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龙图腾网获悉上海华力集成电路制造有限公司申请的专利线宽的测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115047722B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210669579.5，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权线宽的测量方法是由刘洋;于世瑞设计研发完成，并于2022-06-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本线宽的测量方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种线宽的测量方法，对于图形轮廓与特征图形不匹配的目标图形，将第二量测位置与第一量测位置进行相似度匹配，对于在同一匹配标准范围内的图形，利用相匹配的第二线宽量测方式进行线宽量测；对于同时满足两种或多种匹配标准的目标图形，则生成异常点，同时记录其位置；对于异常点，利用每个相符合的第二线宽量测方式得到在多个不同曝光单元的线宽偏差，选取线宽偏差之和最小的第二线宽量测方式为异常点的最佳第一线宽量测方式。本明技术能够省去前期建立量测任务时针对不同图形选取不同量测方式的繁琐工作，极大地避免了因图形形状预测失误所带来的量测方式的选取失误；在一定程度上提高了建模效率。

本发明授权线宽的测量方法在权利要求书中公布了：1.一种线宽的测量方法，其特征在于，至少包括： 步骤一、获取量测方案数据库，所述量测方案数据库包括具有特征图形形状的特征图形及其相应的线宽量测信息、第一量测位置及其第一线宽量测方式，其中所述第一量测位置的第一线宽量测方式彼此互不重复； 步骤二、提供目标图形及其第二量测位置； 步骤三、设置图形关于第一、二量测位置的匹配标准，以及不同所述匹配标准所述第二量测位置相应的第二线宽量测方式，其中所述第二线宽量测方式可重复； 步骤四、获取目标图形曝光显影后的图形轮廓，之后将所述图形轮廓与所述特征图形进行匹配，对于所述图形轮廓与所述特征图形相匹配的所述目标图形，利用与其匹配的所述特征图形的所述第一线宽量测方式进行线宽量测； 步骤五、对于所述图形轮廓与所述特征图形不匹配的所述目标图形，将所述第二量测位置与所述第一量测位置进行相似度匹配，对于在同一所述匹配标准范围内的图形，利用相匹配的所述第二线宽量测方式进行线宽量测；对于同时满足两种或多种所述匹配标准的目标图形，则生成异常点，同时记录其位置； 步骤六、对于所述异常点，利用每个相符合的所述第二线宽量测方式得到在多个不同曝光单元的线宽偏差，选取所述线宽偏差之和最小的所述第二线宽量测方式为所述异常点的最佳第一线宽量测方式。

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