厦门莱蔓新材料科技有限公司梁树海获国家专利权
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龙图腾网获悉厦门莱蔓新材料科技有限公司申请的专利一种内嵌管道的冷却盘及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115312483B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210942199.4，技术领域涉及：H01L23/473；该发明授权一种内嵌管道的冷却盘及其制备方法是由梁树海设计研发完成，并于2022-08-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种内嵌管道的冷却盘及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及冷却盘技术领域，公开了一种内嵌管道的冷却盘及其制备方法，其包括：U型底盘、盘芯、螺旋水道盖板、螺旋水道、出水管、进水管、出水避让孔、进水避让孔、定位销孔和通孔，且这些部件均采用PVDF材质，通过热熔焊和红外激光焊接技术，将冷却盘的部件进行无缝隙焊接，通过自身基材的焊接和结合，确保自身材质之间的最小排斥和提高每个部件之间的紧密结合，该冷却盘可以大大改善晶圆冷却的效果和时效，大大提高冷却盘的耐久性和无损晶圆片，可以避免晶圆片加工时的杂质引入等。
本发明授权一种内嵌管道的冷却盘及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种内嵌管道的冷却盘，其特征在于，所述冷却盘包括：U型底盘、U型盘芯、螺旋水道盖板、螺旋水道、出水管、进水管、出水避让孔、进水避让孔、定位销孔和通孔，所述U型底盘的四周设有通孔，所述通孔用于限定U型底盘与关联设备的位置和U型底盘内杂物的排出，所述U型盘芯内固定连接所述螺旋水道，且所述U型盘芯与所述螺旋水道完全连接，在所述螺旋水道的两端分别连接所述出水管和进水管，且所述出水管和进水管均固定连接在所述U型盘芯上，所述螺旋水道盖板上分别设有出水避让孔和进水避让孔，所述出水避让孔和进水避让孔与对应地出水管和进水管相配合，所述螺旋水道盖板固定连接在装有所述螺旋水道的U型盘芯上，所述U型盘芯固定连接在所述U型底盘上，所述定位销孔是贯穿于所述U型底盘、螺旋水道盖板和U型盘芯，所述U型盘芯、螺旋水道、螺旋水道盖板、出水管和进水管形成进水到出水的流畅水道，且形成除出水口和进水口之外的封闭空间； 其中，所述U型盘芯、U型底盘、螺旋水道盖板、螺旋水道、出水管和进水管均采用有机材质； 其中，所述有机材质选取聚偏二氟乙烯。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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