华能新能源股份有限公司;中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司;华能青海发电有限公司赵建勇获国家专利权
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龙图腾网获悉华能新能源股份有限公司;中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司;华能青海发电有限公司申请的专利一种均匀的加热退火装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115498066B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211150761.6,技术领域涉及:H10F71/00;该发明授权一种均匀的加热退火装置及方法是由赵建勇;杨永军;李卫东;赵志国;赵东明;李新连;付林设计研发完成,并于2022-09-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种均匀的加热退火装置及方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种均匀的加热退火装置及方法,其用于对基板加热退火,包括:加热平台,具有排气口和环状的第一密封槽,第一密封槽位于排气口的外圈;受压可形变的第一密封圈,第一密封圈设置在第一密封槽内,并且第一密封圈凸出第一密封槽用于支撑所述基板,基板在加热平台上的竖直投影能够完全遮挡第一密封圈;上腔盖,上腔盖与加热平台可拆卸的密封连接,且上腔盖与加热平台连接后形成容置基板的加热腔,加热腔的压力可调。通过增大基板两侧之间的压差,使基板挤压第一密封圈,第一密封圈受压变形,直至基板与加热平台紧密接触,从而形成良好的热传导,并且受热均匀,避免了因受热不均而产生的翘曲应变和接触不良的问题。
本发明授权一种均匀的加热退火装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种均匀的加热退火装置,其特征在于,用于对基板3加热退火,包括: 加热平台1,所述加热平台1上具有排气口4和环状的第一密封槽11,所述第一密封槽11位于所述排气口4的外圈; 受压可形变的第一密封圈5,所述第一密封圈5设置在所述第一密封槽11内,并且所述第一密封圈5凸出所述第一密封槽11用于支撑所述基板3,所述基板3在所述加热平台1上的竖直投影能够完全遮挡所述第一密封圈5; 上腔盖2,所述上腔盖2与所述加热平台1可拆卸的密封连接,且所述上腔盖2与所述加热平台1连接后形成容置所述基板3的加热腔,所述加热腔的压力可调; 所述第一密封槽11的形状与所述基板3的边缘轮廓相同;所述第一密封槽11为弧形槽,所述第一密封圈5的横截面为圆形,且所述第一密封圈5通过所述第一密封槽11的槽口限位卡接在所述第一密封槽11内;所述第一密封圈5安装在所述第一密封槽11内突出所述加热平台1的高度h和所述第一密封圈5的直径D的关系为: 10%D≤h≤50%D; 所述上腔盖2具有用于与所述加热腔连通的气体通道7和用于控制所述气体通道7的通断的控制阀8;所述上腔盖2上还具有用于监测所述加热腔内压力的压力检测装置9,所述压力检测装置9与所述控制阀8信号连接; 充气过程中,当所述压力检测装置9检测到所述加热腔内压力达到预设值时,则关闭所述控制阀8。
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