东友精细化工有限公司;艾可普罗HN有限公司金童基获国家专利权
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龙图腾网获悉东友精细化工有限公司;艾可普罗HN有限公司申请的专利聚酰亚胺前体组合物、由其形成的聚酰亚胺膜及使用其制造半导体装置的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116462844B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310058217.7,技术领域涉及:C08G73/10;该发明授权聚酰亚胺前体组合物、由其形成的聚酰亚胺膜及使用其制造半导体装置的方法是由金童基;朴英哲;李殷相;崔圣默设计研发完成,并于2023-01-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本聚酰亚胺前体组合物、由其形成的聚酰亚胺膜及使用其制造半导体装置的方法在说明书摘要公布了:本发明涉及聚酰亚胺前体组合物、由其形成的聚酰亚胺膜及使用其制造半导体装置的方法。本发明提供了一种聚酰亚胺前体组合物,包含由化学式1或化学式2表示的酰亚胺前体,其中,在化学式1和2中,X是具有6至30个碳原子的二价脂族烃基团或具有6至30个碳原子的二价芳族烃基团,Y是具有4至30个碳原子的四价脂族烃基团或具有6至30个碳原子的四价芳族烃基团,Z是源自具有4至30个碳原子的含环醚基团的化合物的部分,和n和m各自为5至100的整数。使用聚酰亚胺前体组合物形成的聚酰亚胺膜具有改善的耐热性和机械特性,并且在紫外区域的波长范围内具有高的吸光度。[化学式1][化学式2]
本发明授权聚酰亚胺前体组合物、由其形成的聚酰亚胺膜及使用其制造半导体装置的方法在权利要求书中公布了:1.一种聚酰亚胺前体组合物,包含由化学式1或化学式2表示的酰亚胺前体: [化学式1] [化学式2] 其中,在化学式1和2中,X是具有6至30个碳原子的二价脂族烃基团或具有6至30个碳原子的二价芳族烃基团, Y是具有4至30个碳原子的四价脂族烃基团或具有6至30个碳原子的四价芳族烃基团, Z是源自具有4至30个碳原子的含环醚基团的化合物的部分,其中,所述含环醚基团的化合物包括选自由叔丁基缩水甘油醚、缩水甘油基异丙基醚和乙基缩水甘油醚组成的组中的至少一者,和 n和m各自为5至100的整数。
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