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中导半导体(合肥)有限公司吴大鹏获国家专利权

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龙图腾网获悉中导半导体(合肥)有限公司申请的专利一种高速开关的大型门阀获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116857374B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310598872.1,技术领域涉及:F16K1/20;该发明授权一种高速开关的大型门阀是由吴大鹏;董方方;张进设计研发完成,并于2023-05-23向国家知识产权局提交的专利申请。

一种高速开关的大型门阀在说明书摘要公布了:本发明涉及一种高速开关的大型门阀。该门阀包括:支撑装置、密封装置以及驱动装置。支撑装置包括横梁和支撑座。支撑座设置有两个且对称分布,两个支撑座固定安装在腔体上。横梁的两端分别与两个支撑座固定连接。密封装置包括主轴、密封板以及至少一组传动组件。传动组件包括第一摆杆、第二摆杆及顶杆,与横梁一同构成平面四杆机构。每组传动组件的顶杆从多个型号的顶杆组成的套件中择一选取。顶杆靠近密封板的一侧为平行于密封板的挤压侧,套件中的各型号顶杆与第二摆杆铰接处的铰接轴心到挤压侧的间距不同,通过更换套件中不同型号的顶杆以调节密封板的盖合度,提升真空镀膜腔体开口的密封效果。

本发明授权一种高速开关的大型门阀在权利要求书中公布了:1.一种高速开关的大型门阀,其特征在于,包括: 支撑装置(1),其包括横梁(11)和支撑座(12);支撑座(12)设置有两个且对称分布,两个支撑座(12)固定安装在腔体上;横梁(11)的两端分别与两个支撑座(12)固定连接; 密封装置(2),其包括主轴(21)、密封板(22)以及至少一组传动组件(23);主轴(21)的轴向平行于横梁(11)和密封板(22)的延伸方向,且主轴(21)的两端分别与两个支撑座(12)转动连接;每组传动组件(23)包括第一摆杆(231)、第二摆杆(232)以及顶杆(233);第一摆杆(231)的一端固定套接在主轴(21)上,另一端与第二摆杆(232)的一端铰接;第二摆杆(232)的另一端与顶杆(233)的一端铰接;顶杆(233)的另一端与横梁(11)铰接;密封板(22)的一侧为密封侧(221),另一侧固定连接在顶杆(233)与第二摆杆(232)的铰接处,且密封板(22)与顶杆(233)相对固定;其中,第一摆杆(231)、第二摆杆(232)、顶杆(233)以及横梁(11)一同构成平面四杆机构,进而通过转动主轴(21)实现密封板(22)在竖直状态和非竖直状态的切换,密封板(22)的密封侧(221)用于在其处于所述竖直状态下时贴合并密封所述腔体的开口;以及 驱动装置(3),其用于驱动所述主轴(21)绕自身轴线转动; 其中,每组传动组件(23)的顶杆(233)从多个型号的顶杆(233)组成的套件中择一选取;顶杆(233)靠近密封板(22)的一侧为平行于密封板(22)的挤压侧(2331),所述套件中的各型号顶杆(233)与第二摆杆(232)铰接处的铰接轴心到挤压侧(2331)的间距不同,通过更换所述套件中不同型号的顶杆(233)以调节所述密封板(22)的盖合度。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中导半导体(合肥)有限公司,其通讯地址为:230000 安徽省合肥市巢湖市旗麓路16号安徽居巢经济技术开发区中科先进制造创新产业园;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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