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龙图腾网获悉佛山(华南)新材料研究院材料测试中心申请的专利一种用于磁控溅射的阴极装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116590680B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310711189.4，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种用于磁控溅射的阴极装置是由姚峥;李元丽;邓康梅;何兹丽;吕思敏设计研发完成，并于2023-06-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于磁控溅射的阴极装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于磁控溅射的阴极装置，中空的壳体与磁控溅射仪的电源负极电性连接，壳体内靶材上方还安装有磁体组、磁体安装板和旋转驱动组件；壳体的底部设有敞口；靶材的底面外露于敞口；磁体组包括两个螺旋形磁体；两个螺旋形磁体间隔并错位置放，两个螺旋形磁体的顶面分别抵接磁体安装板的底面；螺旋形磁体的底面和顶面分别为两个磁极端，两个螺旋形磁体的磁极方向相反，两个螺旋形磁体的底面的所在平面与靶材的底面的所在平面平行；向下延伸的旋转驱动组件的驱动端与磁体安装板的顶面连接。旋转的磁约束区域均匀地覆盖靶材的底面，可有效提高磁控溅射过程中的靶材的消耗均匀性，提高靶材的有效使用率。

本发明授权一种用于磁控溅射的阴极装置在权利要求书中公布了：1.一种用于磁控溅射的阴极装置，包括壳体和靶材，所述壳体与磁控溅射仪的电源负极电性连接，其特征在于，还包括磁体组、磁体安装板和旋转驱动组件； 中空的圆柱状的所述壳体的底部设有敞口； 所述靶材、所述磁体组、所述磁体安装板和所述旋转驱动组件由下至上依次安装于所述壳体内；所述靶材的边缘的底面与所述敞口的边缘的顶面相抵，所述靶材的底面外露于所述敞口； 所述磁体组包括两个螺旋形磁体；所述螺旋形磁体为从圆心向圆周盘绕延伸的条形螺旋体，两个所述螺旋形磁体间隔并错位置放，所述螺旋形磁体的顶面抵接所述磁体安装板的底面；所述螺旋形磁体的底面和顶面分别为两个磁极端，两个所述螺旋形磁体的磁极方向相反，两个所述螺旋形磁体的底面所在平面与所述靶材的底面所在平面平行； 向下延伸的所述旋转驱动组件的驱动端与所述磁体安装板的顶面连接； 还包括隔离板； 所述壳体包括由上至下依次排布的上盖板、筒体和固定环； 所述上盖板密封所述筒体的顶部； 中空的所述固定环的底面设有所述敞口； 所述固定环的内壁面与中空的所述筒体的底部的外壁面螺接； 所述隔离板的顶面抵于并密封所述筒体的底面；所述靶材的顶面与所述隔离板的底面相抵，所述靶材的底面与所述敞口的边缘的内底面相抵； 所述磁体安装板为导磁体。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人佛山(华南)新材料研究院材料测试中心，其通讯地址为：528200 广东省佛山市南海区大沥镇盐步穗盐西路92号A栋110；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。