上海致领半导体科技发展有限公司王永成获国家专利权
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龙图腾网获悉上海致领半导体科技发展有限公司申请的专利一种碳化硅晶片自动抛光生产线获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116945020B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311164235.X，技术领域涉及：B24B29/02；该发明授权一种碳化硅晶片自动抛光生产线是由王永成设计研发完成，并于2023-09-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种碳化硅晶片自动抛光生产线在说明书摘要公布了：本发明公开一种碳化硅晶片自动抛光生产线，属于芯片制作技术领域，包括碳面抛光环形产线和硅面抛光环形产线，碳面抛光环形产线与硅面抛光环形产线具有共用产线段，碳面抛光环形产线包括共用产线段和碳面抛光段，硅面抛光环形产线包括共用产线段和硅面抛光段，碳面抛光段包括碳面化学机械粗抛机，硅面抛光段包括硅面化学机械粗抛机和硅面化学机械精抛机，共用产线段包括顺次设置的贴蜡机、机械抛光机以及晶片刷洗机。本发明将碳面抛光环形产线与硅面抛光环形产线设置共用产线段，能够对各工位进行合理布置，提高工序衔接的顺畅程度，降低贴蜡机、机械抛光机以及晶片刷洗机等设备的停机率，提高利用效率，进而提高产线整体的利用效率和生产效率。
本发明授权一种碳化硅晶片自动抛光生产线在权利要求书中公布了：1.一种碳化硅晶片自动抛光生产线，其特征在于：包括碳面抛光环形产线和硅面抛光环形产线，所述碳面抛光环形产线与所述硅面抛光环形产线具有共用产线段，所述碳面抛光环形产线包括所述共用产线段和碳面抛光段，所述硅面抛光环形产线包括所述共用产线段和硅面抛光段，所述碳面抛光段包括碳面化学机械粗抛机，所述硅面抛光段包括硅面化学机械粗抛机和硅面化学机械精抛机，所述共用产线段包括顺次设置的贴蜡机、机械抛光机以及晶片刷洗机。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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