光科芯图(北京)科技有限公司傅俊隆获国家专利权
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龙图腾网获悉光科芯图(北京)科技有限公司申请的专利基于球面波的照明系统及曝光设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119717401B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311264862.0，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权基于球面波的照明系统及曝光设备是由傅俊隆;牛志元;丛敏;秦宏鹏;姜言明;黄征设计研发完成，并于2023-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于球面波的照明系统及曝光设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于球面波的照明系统及曝光设备，应用于全息光刻技术领域，该全息光刻照明系统包括：沿光轴方向依次设置的第一透镜组、第二透镜组和第三透镜组；所述第一透镜组用于接收输入的激光；第二透镜组用于对接收的激光进行扩束；所述第三透镜组用于对经扩束后的激光进行收束，并向全息掩模版方向输出球面波激光。本发明可以在仅采用三个透镜组配合的情况下，大幅提高通过全息掩模版进行光刻成像的分辨率，从而确保曝光良率，相比传统投影光刻可以极大减少使用的透镜的数量，大幅降低制造成本。
本发明授权基于球面波的照明系统及曝光设备在权利要求书中公布了：1.一种基于球面波的照明系统，应用于全息光刻，其特征在于，包括沿光轴方向依次设置的第一透镜组、第二透镜组和第三透镜组； 所述第一透镜组用于接收输入的激光； 所述第二透镜组用于对接收的激光进行扩束； 所述第三透镜组用于对经扩束后的激光进行收束，并向全息掩模版15方向输出球面波激光； 沿光轴设置在所述第一透镜组和所述第二透镜组之间的第二负透镜3； 所述第二负透镜3的进光面具有负曲率半径，且其出光面具有正曲率半径；其中，所述第二负透镜3的出光面的曲率半径的绝对值大于600mm； 补偿机构，所述补偿机构和所述第二负透镜3连接，所述补偿机构用于驱动所述第二负透镜3在所述第一透镜组和所述第二透镜组之间沿光轴移动，通过调节所述第二负透镜3在光轴上的位置实现光路补偿，所述第二负透镜3的移动范围Δl参照所述第二负透镜3的起始位满足：－1.5mm≤Δl≤+1.5mm。
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