湖南大学松田浩一获国家专利权
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龙图腾网获悉湖南大学申请的专利电子探针定位基板、位移测量方法、定位控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117784531B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311790412.5，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权电子探针定位基板、位移测量方法、定位控制方法是由松田浩一设计研发完成，并于2023-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本电子探针定位基板、位移测量方法、定位控制方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种电子探针定位基板、位移测量方法、定位控制方法，其中基板的标记区域包括多条连续的第一线条构成的第一线条组和多条不连续的第二线条构成的第二线条组，所述第一线条组和第二线条组正交，且所述第一线条组在扫描线上的间距和第二线条组在扫描线上的间距不相等。通过设置多条相互正交的第一线条和第二线条，且第一线条组在扫描线上的间距和第二线条组在扫描线上的间距不相等，从而可从扫描得到的基于二次电子的视频信号中分离出第一线条组和第二线条组在扫描线上的间距的周期信号，进而便于计算电子探针在二维平面内两个方向上的位移，以便后续实时控制消除电子探针位移。
本发明授权电子探针定位基板、位移测量方法、定位控制方法在权利要求书中公布了：1.一种电子探针定位基板，其特征在于，用于振动过程中的电子探针定位，其标记区域包括多条连续的第一线条构成的第一线条组和多条不连续的第二线条构成的第二线条组，所述第一线条组和第二线条组正交且交叉间隔设置，且相邻第一线条在扫描线上的间距和相邻第二线条在扫描线上的间距不相等；扫描线与第一线条组即不平行也不垂直。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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